[發明專利]一種以多孔硅為基底制備硅納米管的方法無效
| 申請號： | 201210515865.2 | 申請日： | 2012-12-06 |
| 公開（公告）號： | CN102942184A | 公開（公告）日： | 2013-02-27 |
| 發明（設計）人： | 劉祥;程鶴鳴;崔平 | 申請（專利權）人： | 安徽工業大學 |
| 主分類號： | C01B33/12 | 分類號： | C01B33/12;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京知識律師事務所 32207 | 代理人： | 蔣海軍 |
| 地址： | 243032 安徽省馬鞍山市*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多孔 基底 制備 納米 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種以多孔硅為基底制備硅納米管的方法，其特征在于包括以下步驟：
（1）將平面硅清洗后浸入4.915M氫氟酸和0.028M硝酸銀混合水溶液中，進行化學刻蝕反應，控制反應溫度在20～100oC之間，反應時間為20～200min；
（2）取出步驟（1）反應后的硅片，放入30％的硝酸水溶液中浸泡20min，用大量去離子水沖洗，并用氮氣吹干，獲得多孔硅；
（3）將步驟（2）獲得的多孔硅浸入2~10M含氟元素的無機化合物與0.001～0.01M過渡金屬元素離子組成的混合水溶液中反應，控制反應溫度在30～100oC之間，反應時間為30～200min，產物用鹽酸浸泡處理，用大量去離子水沖洗，并用氮氣吹干，獲得產物硅納米管。
2.根據權利要求1所述的以多孔硅為基底制備硅納米管的方法，其特征在于，所述步驟（3）的含氟元素的無機化合物和過渡金屬元素離子組成的混合水溶液是指氟化鈉與鎳離子組成的混合水溶液。
3.根據權利要求1所述的以多孔硅為基底制備硅納米管的方法，其特征在于，所述步驟（3）的含氟元素的無機化合物和過渡金屬元素離子組成的混合水溶液是指氟化氫與銅離子組成的混合水溶液。
4.根據權利要求1所述的以多孔硅為基底制備硅納米管的方法，其特征在于，所述步驟（3）的含氟元素的無機化合物和過渡金屬元素離子組成的混合水溶液是指氟化銨與銀離子組成的混合水溶液。
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