[發明專利]一種用于AMOLED Frit固化的一體化設備及工藝流程

無效

• 申請號: 201210514532.8
• 申請日: 2012-12-03
• 公開（公告）號: CN103022383A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 魏陽
• 申請（專利權）人: 彩虹（佛山）平板顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 徐文權

1.一種用于AMOLED?Frit固化的一體化設備，其特征在于：包括玻璃載臺部分、UV固化部分和Laser固化部分，所述玻璃載臺部分、UV固化部分和Laser固化部分的位置分布呈T型結構，所述玻璃載臺部分位于T型結構的豎向端部，UV固化部分和Laser固化部分分別位于T型結構橫向的兩個端部，本設備還包括位于一側的控制與動力部分；沿T型結構的豎部設置有第一導軌，玻璃載臺部分安裝在第一導軌上可以沿第一導軌滑動，沿T型結構的橫部設置有第二導軌，UV固化部分和Laser固化部分安裝在第二導軌上可以分別沿第二導軌滑動。

2.根據權利要求1所述的用于AMOLED?Frit固化的一體化設備，其特征在于：所述玻璃載臺部分包括帶有氮氣氣浮的玻璃載臺，由氣缸驅動的對位固定裝置，激光校正裝置及對位CCD；所述UV固化部分包括可移動的UV燈架，UV?mask和UV?mask對位裝置；所述Laser固化部分包括Laser激光架臺，激光發生器一，Laser?Mask和Laser?Mask對位裝置；所述控制與動力部分包括控制機構和動力部分。

3.根據權利要求1所述的用于AMOLED?Frit固化的一體化設備，其特征在于：所述控制機構和動力部分包括激光發生器二，為設備提供工作電壓的變壓器，控制設備各部分工作的控制PC。

4.一種基于權利要求1所述一體化設備的用于AMOLED?Frit固化的工藝流程，其特征在于包括以下步驟：

1）玻璃入料：采用機器人或者手工方式將玻璃放置在玻璃載臺上，然后由氣缸驅動對位固定裝置夾持好玻璃，進行CCD對位，調整好位置后，由真空穴吸附將玻璃與玻璃載臺固定，對位固定裝置松開，然后玻璃載臺沿第一導軌滑動，將玻璃運送至設備內部待加工處；

2）UV固化：玻璃被運送至待加工位置后，UV固化部分沿第二導軌滑動，移動到玻璃上方，首先進行UV?mask對位，在對位完成之后，進行UV燈照射，在UV固化完成之后，UV固化部分動作回到原處；

3）Laser固化：在UV固化完成之后，Laser固化部分沿第二導軌滑動，移動至玻璃上，首先進行Laser?Mask對位，之后Laser激光頭和玻璃載臺進行對位，然后進行Laser固化，Laser固化完成后，Laser固化部分回到原處。

5.根據權利要求4所述的用于AMOLED?Frit固化的工藝流程，其特征在于：步驟1）中在玻璃載臺上設置有靜電消除裝置，玻璃入料前消除靜電。

6.根據權利要求4所述的用于AMOLED?Frit固化的工藝流程，其特征在于：步驟2）中UV燈照射產生的臭氧通過排氣裝置排放到排氣管道內。

7.根據權利要求4所述的用于AMOLED?Frit固化的工藝流程，其特征在于：步驟1）中玻璃放置在玻璃載臺上時，玻璃載臺與玻璃間充有氮氣，使玻璃處于懸浮狀態。