[發明專利]一種用于AMOLED Frit固化的一體化設備及工藝流程

無效

• 申請號: 201210514532.8
• 申請日: 2012-12-03
• 公開（公告）號: CN103022383A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 魏陽
• 申請（專利權）人: 彩虹（佛山）平板顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 徐文權

技術領域

本發明屬于顯示面板生產領域，涉及AMOLED?Frit的生產工藝，具體涉及一種用于AMOLED?Frit固化的一體化設備及工藝流程。?

背景技術

在平板顯示制造業業界，眾所周知Frit材料無疑為水平最好的封裝材料。而Frit材料在未固化前需要使用UV膠進行整版的定型、固化，而后再進行Laser固化。目前UV固化流程為，先使用帶有Spot?UV（點UV）的貼合機（VAS）做幾個固化點，進行UV材料的預固定，然后再送至專門的UV固化機進行UV固化，UV固化后送至Laser固化機進行Laser固化。顯示面板的生產對環境潔凈度，避免擦花等要求很高，生產過程中多次轉移基板，無疑增加了壞板率，而且將UV固化分為兩個工序制作，增加了腔室數量，增加了動能消耗，人工維護等等。如果將結構簡單的UV固化機與緊接其后工藝的Laser固化機能夠合為一體，可以提高生產線的集成性能，節省動能的投入和管線布置，減少人工維護等等。?

發明內容

本發明的目的在于解決現有技術的缺陷，提供一種用于AMOLED?Frit固化的一體化設備及工藝流程，提高生產線的集成性能，減少灰塵微粒的產生，提高提高良品率。?

為實現上述目的，本發明采用以下技術方案：?

一種用于AMOLED?Frit固化的一體化設備，包括玻璃載臺部分、UV固化部?分和Laser固化部分，所述玻璃載臺部分、UV固化部分和Laser固化部分的位置分布呈T型結構，所述玻璃載臺部分位于T型結構的豎向端部，UV固化部分和Laser固化部分分別位于T型結構橫向的兩個端部，本設備還包括位于一側的控制與動力部分；沿T型結構的豎部設置有第一導軌，玻璃載臺部分安裝在第一導軌上可以沿第一導軌滑動，沿T型結構的橫部設置有第二導軌，UV固化部分和Laser固化部分安裝在第二導軌上可以分別沿第二導軌滑動。?

所述玻璃載臺部分包括帶有氮氣氣浮的玻璃載臺，由氣缸驅動的對位固定裝置，激光校正裝置及對位CCD；所述UV固化部分包括可移動的UV燈架，UVmask和UV?mask對位裝置；所述Laser固化部分包括Laser激光架臺，激光發生器一，Laser?Mask和Laser?Mask對位裝置；所述控制與動力部分包括控制機構和動力部分。?

所述控制機構和動力部分包括激光發生器二，為設備提供工作電壓的變壓器，控制設備各部分工作的控制PC。?

一種用于AMOLED?Frit固化的工藝流程，包括以下步驟：?

1）玻璃入料：采用機器人或者手工方式將玻璃放置在玻璃載臺上，然后由氣缸驅動對位固定裝置夾持好玻璃，進行CCD對位，調整好位置后，由真空穴吸附將玻璃與玻璃載臺固定，對位固定裝置松開，然后玻璃載臺沿第一導軌滑動，將玻璃運送至設備內部待加工處；?

2）UV固化：玻璃被運送至待加工位置后，UV固化部分沿第二導軌滑動，移動到玻璃上方，首先進行UV?mask對位，在對位完成之后，進行UV燈照射，在UV固化完成之后，UV固化部分動作回到原處；?

3）Laser固化：在UV固化完成之后，Laser固化部分沿第二導軌滑動，移動至玻璃上，首先進行Laser?Mask對位，之后Laser激光頭和玻璃載臺進行對位，?然后進行Laser固化，Laser固化完成后，Laser固化部分回到原處。?

步驟1）中在玻璃載臺上設置有靜電消除裝置，玻璃入料前消除靜電。?

步驟2）中UV燈照射產生的臭氧通過排氣裝置排放到排氣管道內。?

步驟1）中玻璃放置在玻璃載臺上時，玻璃載臺與玻璃間充有氮氣，使玻璃處于懸浮狀態。?

本發明所述的用于AMOLED?Frit固化的一體化設備及工藝流程，將UV固化流程與Laser固化流程結合為一體，在一個工序完成Frit固化工藝，可減少基板的搬運次數，同時在一臺設備上完成兩種固化工藝，可減少灰塵微粒的產生，提高良品率，將兩種固化設備集成在一起，集成度高，又可以節省空間，便于維護，便于研發時采集數據，可廣泛用于研發線與量產線。?

附圖說明

圖1為本發明用于AMOLED?Frit固化的一體化設備的結構示意圖；?

圖2為本發明用于AMOLED?Frit固化的一體化設備的工作狀態示意圖；?

圖3為本發明用于AMOLED?Frit固化的一體化設備的工作狀態示意圖；?

圖4為本發明用于AMOLED?Frit固化的一體化設備的工作狀態示意圖；?