[發明專利]一種PECVD噴淋電極

有效

• 申請號: 201210514034.3
• 申請日: 2012-12-04
• 公開（公告）號: CN102978589A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發明（設計）人: 刁宏偉;王文靜;趙雷;周春蘭;李海玲;陳靜偉;閆寶軍
• 申請（專利權）人: 中國科學院電工研究所
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50;C23C16/455
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251
• 代理人: 關玲

1.一種PECVD噴淋電極，其特征在于，所述的電極（5）外形為圓桶形，上部有開口，下部有底；電極（5）的內部空間被帶有通孔的初級氣體勻氣板（2）分成上下兩部分，下部空間為初級氣體緩沖室（1），初級氣體緩沖室（1）位于電極（5）的底和初級氣體勻氣板（2）之間；上部空間為二級氣體緩沖室（3），二級氣體緩沖室（3）位于初級氣體勻氣板（1）和開口之間；初級氣體緩沖室（1）內有一用于調整初級氣體緩沖室體積的調整環（8），調整環（8）的下表面與電極（5）的底完全接觸，調整環（8）的上表面與初級氣體勻氣板（2）完全接觸，電極（5）上部的開口處有一帶有通孔的二級氣體勻氣板（4），用以封閉開口；位于電極底的中心位置開有一進氣口，進氣口下連接有進氣管，進氣管為圓形，其外壁有螺紋。

2.根據權利要求1所述的噴淋電極，其特征在于，所述的初級氣體勻氣板（2）上的通孔孔徑相同、孔間距相等，通孔以陣列方式排列；初級氣體緩沖室（1）體積小于二級氣體緩沖室（3）的體積。

3.根據權利要求1所述的噴淋電極，其特征在于所述的調整環（8）的外徑與初級氣體緩沖室（1）的內徑相匹配，調整環（8）的內徑小于其自身外徑。

4.根據權利要求1所述的噴淋電極，其特征在于，所述的調整環（8）的外徑與內徑差的范圍為10mm~20mm，高度范圍為10~20mm。

5.根據權利要求1所述的噴淋電極，其特征在于，所述的二級氣體勻氣板（4）上的通孔以陣列方式排列，通孔孔徑相同，通孔孔間距相等；所述的通孔孔間距不大于10mm。

6.根據權利要求2或5所述的噴淋電極，其特征在于，所述的初級氣體勻氣板（2）上通孔的孔徑大于二級氣體勻氣板（4）的通孔孔徑。

7.根據權利要求6所述的噴淋電極，其特征在于，所述的初級氣體勻氣板（2）的通孔孔徑不小于5mm，二級氣體勻氣板（4）的通孔孔徑不大于3mm。

8.根據權利要求1所述的噴淋電極，其特征在于，所述的電極（5）的進氣口與初級氣體勻氣板（2）流導比范圍為1:6~1:8；初級氣體勻氣板（2）與二級氣體勻氣板（4）的流導比為2:1。

9.根據權利要求1所述的噴淋電極，其特征在于，所述的初級氣體勻氣板（2）的厚度為3~5mm，所述的二級氣體勻氣板（4）的厚度小于10mm。

10.根據權利要求1所述的噴淋電極，其特征在于，所述的電極（5）外包裹有絕緣層（6），絕緣層（6）外包裹有屏蔽層（7）；所述的絕緣層（6）的材料為陶瓷；所述的屏蔽層（7）材料為316型不銹鋼或熱軋鋁。