[發(fā)明專利]版圖驗證規(guī)則中金屬層的測試向量針對不同工藝的可復用生成方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210512490.4
• 申請日: 2012-12-04
• 公開（公告）號: CN103164568B
• 公開（公告）日: 2018-03-20
• 發(fā)明（設計）人: 李寧;侯勁松;王勇;張萍
• 申請（專利權）人: 天津藍海微科技有限公司
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.版圖驗證規(guī)則中金屬層的測試向量針對不同工藝的可復用生成方法，它的含義是在版圖驗證規(guī)則中金屬層的測試向量生成過程中，針對不同工藝，不同層金屬的規(guī)則類型相同，但具體規(guī)則尺寸不盡相同，需要通過重復編寫不同金屬層的控制語句來生成測試向量；假設共有n層金屬，第1層金屬遵循底層金屬的規(guī)則尺寸，第2～n-1層金屬共同遵循中間金屬層的規(guī)則尺寸，第n層金屬遵循頂層金屬的規(guī)則尺寸；該方法提出了一種金屬次頂層的定義，通過對金屬次頂層進行幾何規(guī)則檢查，簡化了金屬層的測試向量的生成過程；針對1p5m，1p6m，1p7m，1p8m的工藝僅需要書寫一套scout rule，該方法會自動生成對應不同工藝的測試向量；針對TopMetal與次頂層的Enclosure命令，該方法會自動替換次頂層金屬的layer name，保證不同工藝的約束正確；針對TopMetal有多個layer的情形，該方法會自動尋找第一個TopMetal層與次頂層金屬的關系；針對與器件相關的device rule，該方法可自動將器件中的次頂層金屬進行替換，不需要人工修改器件的版圖；該方法實現了版圖驗證規(guī)則中金屬層的測試向量針對不同工藝的可復用生成，解決了描述金屬層圖形規(guī)則重復操作的問題，從而提高了測試向量生成的效率；

具體步驟如下：

(1)針對金屬層規(guī)則，定義虛擬層Under Top Metal，該虛擬層的含義是次頂層金屬名稱，可以用來定義第2～n-1層金屬的各項規(guī)則；

(2)在全局連接關系的定義中，設置虛擬層Under Top Metal名稱，使得后續(xù)規(guī)則可以直接引用該layer；

(3)針對中間金屬層的各項檢查規(guī)則，使用虛擬層Under Top Metal完成各項相關規(guī)則的類型設置與檢查尺寸設置，不同類型的檢查只需設置一次，而不需要多次重復設置；

(4)根據虛擬層Under Top Metal的各種檢查規(guī)則的設置，工具直接自動生成第2～n-1層金屬的測試向量圖形。