[發明專利]版圖驗證規則中金屬層的測試向量針對不同工藝的可復用生成方法

有效

• 申請號: 201210512490.4
• 申請日: 2012-12-04
• 公開（公告）號: CN103164568B
• 公開（公告）日: 2018-03-20
• 發明（設計）人: 李寧;侯勁松;王勇;張萍
• 申請（專利權）人: 天津藍海微科技有限公司
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.版圖驗證規則中金屬層的測試向量針對不同工藝的可復用生成方法，它的含義是在版圖驗證規則中金屬層的測試向量生成過程中，針對不同工藝，不同層金屬的規則類型相同，但具體規則尺寸不盡相同，需要通過重復編寫不同金屬層的控制語句來生成測試向量；假設共有n層金屬，第1層金屬遵循底層金屬的規則尺寸，第2～n-1層金屬共同遵循中間金屬層的規則尺寸，第n層金屬遵循頂層金屬的規則尺寸；該方法提出了一種金屬次頂層的定義，通過對金屬次頂層進行幾何規則檢查，簡化了金屬層的測試向量的生成過程；針對1p5m，1p6m，1p7m，1p8m的工藝僅需要書寫一套scout rule，該方法會自動生成對應不同工藝的測試向量；針對TopMetal與次頂層的Enclosure命令，該方法會自動替換次頂層金屬的layer name，保證不同工藝的約束正確；針對TopMetal有多個layer的情形，該方法會自動尋找第一個TopMetal層與次頂層金屬的關系；針對與器件相關的device rule，該方法可自動將器件中的次頂層金屬進行替換，不需要人工修改器件的版圖；該方法實現了版圖驗證規則中金屬層的測試向量針對不同工藝的可復用生成，解決了描述金屬層圖形規則重復操作的問題，從而提高了測試向量生成的效率；

具體步驟如下：

(1)針對金屬層規則，定義虛擬層Under Top Metal，該虛擬層的含義是次頂層金屬名稱，可以用來定義第2～n-1層金屬的各項規則；

(2)在全局連接關系的定義中，設置虛擬層Under Top Metal名稱，使得后續規則可以直接引用該layer；

(3)針對中間金屬層的各項檢查規則，使用虛擬層Under Top Metal完成各項相關規則的類型設置與檢查尺寸設置，不同類型的檢查只需設置一次，而不需要多次重復設置；

(4)根據虛擬層Under Top Metal的各種檢查規則的設置，工具直接自動生成第2～n-1層金屬的測試向量圖形。