[發(fā)明專利]一種高致密鉻合金靶材的生產(chǎn)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210507051.4
• 申請(qǐng)日: 2012-12-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102978576A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鐘小亮;王廣欣;王樹(shù)森
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州晶純新材料有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34;C23C14/14;C22F1/18;C22C1/04;C22C27/06
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 汪青

1.?一種高致密鉻合金靶材的生產(chǎn)方法，所述的鉻合金為鉻與選自鎳、硅、鈦、鈷、鉑中的一種或多種的合金，其特征在于：所述的生產(chǎn)方法包括依次進(jìn)行的如下步驟：

（Ⅰ）、真空脫氣：采用-200目、純度為99.95wt%以上、氧含量為1000ppm以下的鉻粉以及合金金屬的粉體為原料，均勻混料后，將原料放入模具中，首先加壓4~6MPa，然后在真空度保持為10^-3Pa以下的環(huán)境下，以250~400℃/h的加熱速率加熱至500~800℃，保溫40~80min，充入氬氣；

（Ⅱ）、階段性升溫加壓：加壓至9~12MPa，然后以150~250℃/h的加熱速率加熱至550~1100℃，保溫40~80min；然后以90~110℃/h的加熱速率加熱至600~1400℃，保溫40~80min，從1100℃開(kāi)始，在溫度上升的過(guò)程中溫度每上升40~60℃增加1.5~2.5MPa壓力，加熱截止溫度為1350~1500℃，直至壓力為20~100MPa；

（Ⅲ）、保壓爐冷：保持20~100MPa的壓力，停止加熱，靶材隨爐冷；

（Ⅳ）、熱鍛：鍛造溫度為400~1200℃，變形率為0.1%/min~20%/min；

（Ⅴ）、退火：在300℃～700℃溫度下保溫3～5小時(shí)進(jìn)行去應(yīng)力退火；

（Ⅵ）、熱軋：采取單向式、交叉式或旋轉(zhuǎn)式的熱扎方式，軋制的道次變形率為2%~20%；

（Ⅶ）、退火：在300℃～700℃溫度下保溫3～5小時(shí)進(jìn)行去應(yīng)力退火；

（Ⅷ）、機(jī)加工獲得鉻合金靶材成品。

2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的高致密鉻合金靶材的生產(chǎn)方法，其特征在于：步驟（I）中的加熱速率為290~310℃/h。

3.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的高致密鉻合金靶材的生產(chǎn)方法，其特征在于：步驟（Ⅱ）中，第一次加熱的加熱速率為190~210℃/h。

4.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的高致密鉻合金靶材的生產(chǎn)方法，其特征在于：步驟（Ⅱ）中，第二次加熱的加熱速率為95~105℃/h。

5.?根據(jù)權(quán)利要求1或3或4所述的高致密鉻合金靶材的生產(chǎn)方法，其特征在于：步驟（Ⅱ）中，從1100℃開(kāi)始，溫度每上升50℃增加2MPa的壓力。

6.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的高致密鉻合金靶材的生產(chǎn)方法，其特征在于：步驟（Ⅱ）中，最終壓力為20~40MPa。

7.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的高致密鉻合金靶材的生產(chǎn)方法，其特征在于：步驟（Ⅵ）中，熱軋溫度為900~1400℃。

8.?一種高致密鉻合金靶材，其特征在于：其由權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的生產(chǎn)方法生產(chǎn)得到，所述鉻合金靶材的氧含量小于1000ppm，相對(duì)密度大于99%，純度大于99.9wt%。