[發(fā)明專利]關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210501762.0
• 申請日: 2012-11-29
• 公開（公告）號: CN102982207A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發(fā)明（設計）人: 韓曉壬;宋輝英;潘虎
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 陸花

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法。

背景技術(shù)

隨著CMOS半導體器件工藝的發(fā)展以及電子設計自動化（EDA，Electronic?Design?Automat?ion）工具的發(fā)展，完成效率對于企業(yè)競爭力起著越來越大的作用。

關(guān)鍵尺寸條狀圖形（CD?Bar，Critical?Dimension?Bar）是集成電路制造公司在芯片生產(chǎn)中用于測量特征線寬尺寸的圖形。一般CD?Bar的版圖繪制，除了全手動繪制，就是通過版圖工具產(chǎn)生標準單元，需要人工調(diào)用標準單元，進行參數(shù)修改設置、排列來生成所需要的版圖。

上述方法比較耗費時間、人力，而且重復性和出錯率都很高，對于集成電路制造行業(yè)，這些時間的消耗以及出錯率，無疑會延誤一個產(chǎn)品的生產(chǎn)周期。

因此，有必要對現(xiàn)有的CD?Bar的生成方法進行改進，以提高CD?Bar的生成效率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法，以提高關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成效率。

為解決上述問題，本發(fā)明提出一種關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法，該方法在畫關(guān)鍵尺寸的過程中，采用單元庫參數(shù)法，通過改變參數(shù)來確定關(guān)鍵尺寸條狀圖形的單個單元，并且將所述單元按所需要求進行分類，用可以清楚識別的參數(shù)描述，實現(xiàn)單元至參數(shù)的轉(zhuǎn)化，在此之后就只需控制參數(shù)來生成關(guān)鍵尺寸條狀圖形。

可選的，該方法具體包括如下步驟：

根據(jù)光刻版圖設計規(guī)則的要求，利用第一EDA工具生成關(guān)鍵尺寸條狀圖形基本圖形；

將關(guān)鍵尺寸條狀圖形的變量設置成隨光刻版圖設計規(guī)則中不同式樣的值的不同而變化的參數(shù)；

按照光刻版圖設計規(guī)則的要求，將所述參數(shù)整理成excl表格，生成所需的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的單元庫；

按照光刻結(jié)構(gòu)設計規(guī)則的要求，整理式樣的excl表格，生成最終所需要的關(guān)鍵尺寸條狀圖形。

可選的，所述第一EDA工具為smartcell工具。

可選的，所述參數(shù)包括層名稱（layerid），掩模版（masknumber），版本號（typeversion）。

可選的，所述最終所需要的關(guān)鍵尺寸條狀圖形由第二EDA工具生成。

可選的，所述第二EDA工具為tcmagic工具。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明在畫關(guān)鍵尺寸的過程中，采用單元庫參數(shù)法，通過改變參數(shù)來確定關(guān)鍵尺寸條狀圖形的單個單元，并且將所述單元按所需要求進行分類，用可以清楚識別的參數(shù)描述，實現(xiàn)單元至參數(shù)的轉(zhuǎn)化，在此之后就只需控制參數(shù)來生成關(guān)鍵尺寸條狀圖形；從而大大提高關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成效率。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例提供的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法的流程圖；

圖2為本發(fā)明實施例提供的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法的步驟框圖。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明提出的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法作進一步詳細說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用于方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。

本發(fā)明的核心思想在于，提供一種關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法，該方法在畫關(guān)鍵尺寸的過程中，采用單元庫參數(shù)法，通過改變參數(shù)來確定關(guān)鍵尺寸條狀圖形的單個單元，并且將所述單元按所需要求進行分類，用可以清楚識別的參數(shù)描述，實現(xiàn)單元至參數(shù)的轉(zhuǎn)化，在此之后就只需控制參數(shù)來生成關(guān)鍵尺寸條狀圖形；從而大大提高關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成效率。

本發(fā)明實施例提供的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法，該方法在畫關(guān)鍵尺寸的過程中，采用單元庫參數(shù)法，通過改變參數(shù)來確定關(guān)鍵尺寸條狀圖形的單個單元，并且將所述單元按所需要求進行分類，用可以清楚識別的參數(shù)描述，實現(xiàn)單元至參數(shù)的轉(zhuǎn)化，在此之后就只需控制參數(shù)來生成關(guān)鍵尺寸條狀圖形。因而能大大提高關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成效率。

關(guān)于本發(fā)明實施例提供的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法的具體流程請參考圖1及圖2，其中，圖1為本發(fā)明實施例提供的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法的流程圖，圖2為本發(fā)明實施例提供的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法的步驟框圖，結(jié)合圖1及圖2，本發(fā)明實施例提供的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法具體包括如下步驟：

S1：根據(jù)光刻版圖設計規(guī)則的要求，利用第一EDA工具生成關(guān)鍵尺寸條狀圖形基本圖形；