[發明專利]關鍵尺寸條狀圖形的生成方法有效
| 申請號： | 201210501762.0 | 申請日： | 2012-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN102982207A | 公開（公告）日： | 2013-03-20 |
| 發明（設計）人： | 韓曉壬;宋輝英;潘虎 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G06F17/50 | 分類號： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陸花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 關鍵 尺寸 條狀 圖形 生成 方法 | ||
1.一種關鍵尺寸條狀圖形的生成方法，其特征在于，該方法在畫關鍵尺寸的過程中，采用單元庫參數法，通過改變參數來確定關鍵尺寸條狀圖形的單個單元，并且將所述單元按所需要求進行分類，用可以清楚識別的參數描述，實現單元至參數的轉化，在此之后就只需控制參數來生成關鍵尺寸條狀圖形。
2.如權利要求1所述的關鍵尺寸條狀圖形的生成方法，其特征在于，該方法具體包括如下步驟：
根據光刻版圖設計規則的要求，利用第一EDA工具生成關鍵尺寸條狀圖形基本圖形；
將關鍵尺寸條狀圖形的變量設置成隨光刻版圖設計規則中不同式樣的值的不同而變化的參數；
按照光刻版圖設計規則的要求，將所述參數整理成excl表格，生成所需的關鍵尺寸條狀圖形的單元庫；
按照光刻結構設計規則的要求，整理式樣的excl表格，生成最終所需要的關鍵尺寸條狀圖形。
3.如權利要求2所述的關鍵尺寸條狀圖形的生成方法，其特征在于，所述第一EDA工具為smartcell工具。
4.如權利要求2所述的關鍵尺寸條狀圖形的生成方法，其特征在于，所述參數包括層名稱（layerid），掩模版（masknumber），版本號（typeversion）。
5.如權利要求2所述的關鍵尺寸條狀圖形的生成方法，其特征在于，所述最終所需要的關鍵尺寸條狀圖形由第二EDA工具生成。
6.如權利要求5所述的關鍵尺寸條狀圖形的生成方法，其特征在于，所述第二EDA工具為tcmagic工具。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海華力微電子有限公司，未經上海華力微電子有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210501762.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：可更換密碼的傳感器
- 下一篇：一種帶有充電器的手機保護殼
