[發(fā)明專利]一種溶膠－凝膠法制備BiFe1‐xCrxO3 鐵電薄膜的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210498900.4
• 申請日: 2012-11-28
• 公開（公告）號: CN103121836A
• 公開（公告）日: 2013-05-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 談國強;劉文龍
• 申請（專利權(quán)）人: 陜西科技大學
• 主分類號: C04B35/42
• 分類號: C04B35/42;C04B35/624
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 蔡和平

1.一種溶膠－凝膠法制備BiFe_1-xCr_xO₃鐵電薄膜的方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1：將Bi(NO₃)₃·5H₂O、Fe(NO₃)₃·9H₂O和Cr(NO₃)₃·9H₂O按摩爾比1.05∶1-x∶x溶于乙二醇甲醚、醋酸酐和乙醇胺的混合液中，磁力攪拌后得到金屬離子濃度為0.003～0.3mol/L的穩(wěn)定的BiFe_1-xCr_xO₃前驅(qū)液，其中x=0.00～0.03，乙二醇甲醚、醋酸酐和乙醇胺的體積比為14∶5∶1；

步驟2：采用旋涂法在FTO/glass基片上旋涂BiFe_1-xCr_xO₃前驅(qū)液制備薄膜，采用層層退火工藝處理，得到晶態(tài)BiFe_1-xCr_xO₃薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種溶膠－凝膠法制備BiFe_1-xCr_xO₃鐵電薄膜的方法，其特征在于，步驟1中x=0.01、x=0.02或x=0.03。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種溶膠－凝膠法制備BiFe_1-xCr_xO₃鐵電薄膜的方法，其特征在于，步驟1中攪拌時間為3h。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種溶膠－凝膠法制備BiFe_1-xCr_xO₃鐵電薄膜的方法，其特征在于，步驟2中重復旋涂制備薄膜，層層退火工藝處理直到得到所期望厚度的薄膜。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種溶膠－凝膠法制備BiFe_1-xCr_xO₃鐵電薄膜的方法，其特征在于，0＜x≤0.03。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種溶膠－凝膠法制備BiFe_1-xCr_xO₃鐵電薄膜的方法，其特征在于，0＜x≤0.02。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種溶膠－凝膠法制備BiFe_1-xCr_xO₃鐵電薄膜的方法，其特征在于，0＜x≤0.01。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種溶膠－凝膠法制備BiFe_1xCr_xO₃鐵電薄膜的方法，其特征在于，0.01≤x≤0.03。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種溶膠－凝膠法制備BiFe_1-xCr_xO₃鐵電薄膜的方法，其特征在于，0.02≤x≤0.03。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種溶膠－凝膠法制備BiFe_1-xCr_xO₃鐵電薄膜的方法，其特征在于，0.01≤x≤0.02。