[發明專利]防止半自動探針臺探針燒針的裝置無效
| 申請號： | 201210497627.3 | 申請日： | 2012-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN103018500A | 公開（公告）日： | 2013-04-03 |
| 發明（設計）人： | 李瀚超;尹彬鋒;趙敏 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/067 | 分類號： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 防止 半自動 探針 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種防止半自動探針臺探針燒針的裝置，包括源測量單元和探針，所述源測量單元和探針相互之間形成回路，其特征在于，還包括設于所述源測量單元和探針之間的電阻元件，所述電阻元件串聯于所述源測量單元和探針的回路中。
2.如權利要求1所述的防止半自動探針臺探針燒針的裝置，其特征在于，還包括測試機座，所述測試機座的兩端分別與所述源測量單元和探針相連，所述電阻元件設于所述測試機座中，所述電阻元件的兩端分別與所述測試機座的兩端相連。
3.如權利要求2所述的防止半自動探針臺探針燒針的裝置，其特征在于，還包括與所述探針相連的介質，所述探針用于測試所述介質的擊穿電壓。
4.如權利要求3所述的防止半自動探針臺探針燒針的裝置，其特征在于，所述源測量單元在測試時提供的電壓為0.1-200V。
5.如權利要求4所述的防止半自動探針臺探針燒針的裝置，其特征在于，所述電阻元件的電阻為0.1-10K歐姆。
6.如權利要求5所述的防止半自動探針臺探針燒針的裝置，其特征在于，所述電阻元件的電阻為1K歐姆。
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