[發明專利]低漏電流的Bi0.92Tb0.08Fe1‐xCrxO3 薄膜的制備方法有效
| 申請號： | 201210497445.6 | 申請日： | 2012-11-28 |
| 公開（公告）號： | CN102976764A | 公開（公告）日： | 2013-03-20 |
| 發明（設計）人： | 談國強;董國華 | 申請（專利權）人： | 陜西科技大學 |
| 主分類號： | C04B35/624 | 分類號： | C04B35/624;C04B35/40 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人： | 蔡和平 |
| 地址： | 710021 *** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 漏電 bi sub 0.92 tb 0.08 fe cr 薄膜 制備 方法 | ||
1.一種低漏電流的Bi0.92Tb0.08Fe1-xCrxO3薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟1：將Bi(NO3)3·5H2O、Fe(NO3)3·9H2O、Tb(NO3)3·6H2O和Cr(NO3)3·9H2O按摩爾比0.97∶1-x∶0.08∶x溶于乙二醇甲醚和醋酸酐的混合液中，形成混合溶液，向混合溶液中加入乙醇胺調節粘度及絡合程度，得到穩定的BiFeO3前驅液，其中BiFeO3前驅液中的金屬離子濃度為0.3mol/L，x=0.01～0.03，乙二醇甲醚、醋酸酐和乙醇胺的體積比為3.5∶1∶0.2；
步驟2：采用旋涂法和逐層退火的工藝得到Tb和Cr共摻晶態的低漏電流的Bi0.92Tb0.08Fe1-xCrxO3薄膜。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟2中重復旋涂和逐層退火步驟直到得到期望厚度的BiFeO3薄膜。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟2中逐層退火的退火溫度為550℃，時間為5-10min，然后自然冷卻至室溫。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟1中x=0.01～0.02。
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，包括以下步驟，
步驟1：將Bi(NO3)3·5H2O、Fe(NO3)3·9H2O、Tb(NO3)3·6H2O和Cr(NO3)3·9H2O按摩爾比0.97∶0.99∶0.08∶0.01溶于乙二醇甲醚與醋酸酐混合液中，并用乙醇胺調節粘度及絡合程度，得到穩定的BiFeO3前驅液，其中，BiFeO3前驅液中的金屬離子濃度為0.3mol/L，乙二醇甲醚、醋酸酐和乙醇胺的體積比為3.5∶1∶0.2；
步驟2：采用旋涂法和550℃逐層退火5-10min，然后自然冷卻至室溫的工藝，得到Tb和Cr共摻晶態的Bi0.92Tb0.08Fe0.99Cr0.01O3薄膜。
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