[發明專利]機器人系統

有效

• 申請號: 201210495060.6
• 申請日: 2012-11-28
• 公開（公告）號: CN103213133A
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發明（設計）人: 木村吉希
• 申請（專利權）人: 株式會社安川電機
• 主分類號: B25J13/08
• 分類號: B25J13/08;H01L21/677
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

技術領域

本文所討論的實施方式涉及機器人系統。

背景技術

常規上，已知有一種機器人系統，該機器人系統通過利用諸如水平多關節機器人的機器人而在半導體制造過程中將諸如晶片的基板搬入/搬出處理設備。

在這樣的機器人系統中，隨著作為待搬運物體的基板的尺寸的增加和成本的升高，安全且可靠地搬運基板的重要性也已提高。因此，近來，已提出用于安全且可靠地搬運基板的各種技術。

例如，日本專利特開公報2011-159738公開了一種通過為用于放置基板的機器人手設置夾持機構來防止基板在搬運期間發生偏移等的技術。

在日本專利特開公報2011-159738中描述的技術中，為了由夾持機構可靠地夾持基板，在機器人從處理設備接收到基板之后機器人被臨時停止并且接著操作夾持機構。此外，在日本專利特開公報2011-159738中描述的技術中，基于在操作夾持機構之后該夾持機構的操作狀態來確認基板的存在與否，并且在確認了基板存在于手上之后，機器人再次操作以退回手。

然而，在日本專利特開公報2011-159738中描述的技術中，夾持操作和基板存在與否確認獨立于手的退回操作來執行。換言之，在日本專利特開公報2011-159738中描述的技術中，在執行夾持操作和基板的存在與否確認時不執行手的退回操作，因此搬運基板所需要的時間會變長。

鑒于以上內容，而形成實施方式的一方面，并且實施方式的一方面的目的在于提供一種能夠縮短搬運基板所需要的時間的機器人系統。

發明內容

根據實施方式的一方面的機器人系統包括：機器人，該機器人包括手和臂，所述手包括夾持薄板狀工件的夾持機構，所述臂使所述手移動；以及機器人控制設備，該機器人控制設備控制所述機器人。當所述機器人控制設備通過控制所述機器人使所述機器人在預定的工件搬運位置處搬運所述工件時，所述機器人控制設備在所述手到達所述工件搬運位置之后使所述手退回的同時，通過操作所述夾持機構來執行所述工件的存在與否確認。

根據實施方式的一方面，能夠縮短搬運基板所需要的時間。

附圖說明

通過參考結合附圖考慮的下面詳細說明，將容易獲得對本發明的更全面認識以及本發明的許多附帶優點，這是因為能夠更好地理解本發明及其附帶優點，在附圖中：

圖1是示出根據第一實施方式的機器人系統的構造的示意圖；

圖2是示出機器人的構造的示意圖；

圖3是手的示意性立體圖；

圖4A至圖4C是晶片檢測機構的構造和操作的說明圖；

圖5是示出機器人控制設備的構造的框圖；

圖6A是根據第一實施方式的晶片接收操作的說明圖；

圖6B是根據第一實施方式的晶片輸送操作的說明圖；

圖7是示出晶片接收處理的處理過程的流程圖；

圖8是示出晶片輸送處理的處理過程的流程圖；

圖9A是根據第二實施方式的晶片接收操作的說明圖；

圖9B是根據第二實施方式的晶片輸送操作的說明圖；

圖10A是根據第三實施方式的晶片接收操作的說明圖；

圖10B是根據第三實施方式的晶片輸送操作的說明圖；

圖11A是根據晶片接收操作的另一說明圖；以及

圖11B是根據晶片輸送操作的另一說明圖。

具體實施方式

在下文中，將參照附圖詳細地說明在本申請中公開的機器人系統的實施方式。在以下所示的實施方式中，以其中機器人包括兩個手（即，上部手和下部手）的情況作為示例進行說明，然而，機器人可以僅包括一個手。本發明不局限于以下的實施方式。

首先，將參照圖1說明根據第一實施方式的機器人系統的構造。圖1是示出根據第一實施方式的機器人系統的構造的示意圖。

下列說明中，為了闡明位置關系，限定彼此正交的X軸方向、Y軸方向和Z軸方向。此外，在下列說明中，Z軸正向方向為豎直向上，并且X軸方向和Y軸方向為水平方向。

如圖1所示，根據第一實施方式的機器人系統1包括基板搬運單元2、基板供給單元3和基板處理單元4。基板搬運單元2包括機器人10和容納該機器人10的外殼20。

機器人10包括：手11，該手能夠保持作為待搬運物體的晶片W；臂12，該臂沿水平方面移動手11；以及基座13，該基座支承臂12以使得所述臂12能夠升降并且能沿水平方向樞轉。基座13布置在基座安裝框架23上，所述基座安裝框架形成為外殼20的底壁部。