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[發明專利]一種基板檢測裝置有效

專利信息
申請號: 201210489192.8 申請日: 2012-11-26
公開(公告)號: CN103017706A 公開(公告)日: 2013-04-03
發明(設計)人: 汪龍騰 申請(專利權)人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
主分類號: G01B21/02 分類號: G01B21/02
代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291 代理人: 黃志華
地址: 100015 *** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 檢測 裝置
【權利要求書】:

1.一種基板檢測裝置,其特征在于,包括:

基座;

滑動裝配在所述基座上可相向運動的兩個檢測模塊,其中,至少一個所述檢測模塊包括:滑動裝配在所述基座上的第一滑座,滑動裝配在所述第一滑座上的第二滑座,一端固定安裝在所述第一滑座上、另一端與所述第二滑座相抵的彈性部件,以及固定安裝在所述第二滑座上的檢測條,且該檢測條與另外一個檢測模塊中的檢測條位置相對;

安裝在所述第一滑座與所述檢測條之間、用于感測所述第一滑座和所述檢測條之間相對位移的至少一個位移傳感器。

2.如權利要求1所述的基板檢測裝置,其特征在于,所述檢測條為可調式檢測條,所述檢測條包括:

固定安裝在所述第二滑座上的第一基板;以及,

具有條形孔的第二基板,所述第二基板通過蝶形螺母和螺栓固定安裝在所述第一基板上,且所述條形孔的長度方向與所述檢測模塊的滑動方向平行,且所述第二基板相對于所述第一基板的伸出長度沿所述條形孔的長度方向可調。

3.如權利要求2所述的基板檢測裝置,其特征在于,所述第二基板相對于所述第一基板的伸出長度為0~5mm。

4.如權利要求3所述的基板檢測裝置,其特征在于,所述第一基板還包括設置在與所述第二基板接觸的面上的標尺刻度,所述第二基板還包括與所述標尺刻度對應的指針,所述標尺刻度和所述指針用于標示所述第一基板和所述第二基板的相對位置。

5.如權利要求1所述的基板檢測裝置,其特征在于,所述檢測條為一體式檢測條,其中一個檢測條的測量面為平面,另一個所述檢測條的測量面為由兩個互相平行的第一測量面和第二測量面形成的階梯面。

6.如權利要求5所述的基板檢測裝置,其特征在于,所述第一測量面和第二測量面之間的垂直距離為0~5mm。

7.如權利要求1所述的基板檢測裝置,其特征在于,所述彈性部件為復位彈簧。

8.如權利要求1所述的基板檢測裝置,其特征在于,還包括與所述至少一個位移傳感器信號連接,用于根據所述位移傳感器感測到的位移判斷所述基板邊緣是否有毛刺的控制系統。

9.如權利要求8所述的基板檢測裝置,其特征在于,還包括與所述控制系統信號連接,用于顯示所述檢測條相對于所述第一滑座位移量的顯示面板。

10.如權利要求8所述的基板檢測裝置,其特征在于,還包括與所述控制系統信號連接,用于驅動兩個檢測模塊相向和相背運動的驅動裝置。

11.如權利要求9所述的基板檢測裝置,其特征在于,所述驅動裝置包括:電機,以及與所述電機和兩個檢測模塊傳動連接的絲杠。

12.如權利要求1所述的基板檢測裝置,其特征在于,還包括位于所述兩個檢測模塊之間用于承載待測顯示面板或基板的支撐件。

13.如權利要求12所述的基板檢測裝置,其特征在于,所述支撐件包括:垂直所述基座設置的多個支撐柱,以及設置于每一個所述支撐柱上端部的軟墊。

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