[發(fā)明專利]片盒升降裝置及具有其的片盒傳輸系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210483285.X
• 申請日: 2012-11-23
• 公開（公告）號: CN103839860B
• 公開（公告）日: 2017-03-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏曉
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11201
• 代理人: 黃德海,賈玉姣

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域，尤其是涉及一種片盒升降裝置及具有其的片盒傳輸系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體的制備工藝中，待處理的晶片需要從大氣環(huán)境中逐步傳送到反應(yīng)腔室中進(jìn)行工藝處理，比如刻蝕工藝、物理氣相沉積等。通過晶片傳輸系統(tǒng)將晶片傳輸?shù)椒磻?yīng)腔室內(nèi)，該晶片傳輸系統(tǒng)包括片盒裝載裝置、真空片盒升降裝置、真空機(jī)械手和傳輸腔室。

首先將裝有片盒的片盒承載裝置放置到片盒裝載裝置上。片盒裝載裝置將片盒從片盒承載裝置中取出，然后真空片盒升降裝置的自動門打開，片盒裝載裝置將片盒送到真空片盒升降裝置中的片盒托盤上，真空片盒升降裝置的自動門關(guān)閉。真空片盒升降裝置根據(jù)要求將片盒升到合適位置，真空機(jī)械手從片盒中將晶片取出，送到反應(yīng)腔室內(nèi)進(jìn)行相應(yīng)的工藝。

為了保證片盒在真空片盒升降裝置中的安全升降，需要檢測片盒在片盒托盤上的放置情況。現(xiàn)有技術(shù)如圖4所示采用機(jī)械式的片盒擺放傳感器309檢測片盒是否放置正確，當(dāng)片盒放到片盒托盤時(shí)，利用夾條310和夾塊311來定位。當(dāng)片盒位置放置正確時(shí)，片盒擺放傳感器309被壓下，表示片盒位置準(zhǔn)確，真空片盒升降裝置可以進(jìn)行升降操作。當(dāng)片盒擺放傳感器沒有被壓下時(shí)，存在兩種可能：一種是當(dāng)前真空片盒升降裝置中確實(shí)沒有片盒；另一種是當(dāng)前真空片盒升降裝置中存在片盒，但是片盒沒有放正。因此，現(xiàn)有的安全保證機(jī)制無法實(shí)現(xiàn)同時(shí)檢測到片盒托盤上是否放置有料盒并確認(rèn)料盒位置擺放是否正確。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。

為此，本發(fā)明的一個(gè)目的在于提出一種避免片盒被擠碎的片盒升降裝置。

本發(fā)明的另一個(gè)目的在于提出一種具有上述片盒升降裝置的片盒傳輸系統(tǒng)。

根據(jù)本發(fā)明第一方面實(shí)施例的片盒升降裝置，包括：殼體，所述殼體內(nèi)具有承載腔室；片盒托盤，所述片盒托盤設(shè)在所述承載腔室內(nèi)用于承載片盒；驅(qū)動器，所述驅(qū)動器用于驅(qū)動所述片盒托盤在所述承載腔室內(nèi)沿著豎直方向可升降；和至少四個(gè)檢測傳感器，所述檢測傳感器分別設(shè)置在所述片盒托盤上并與所述片盒的所需擺放位置相對應(yīng)，用于檢測所述片盒是否放置在所述所需擺放位置。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的片盒升降裝置，避免了在初始化過程和正常工作過程中片盒未放置在所述所需擺放位置上而被擠碎的風(fēng)險(xiǎn)，避免擠壞片盒及晶片帶來的昂貴代價(jià)和減少意外的系統(tǒng)維護(hù)時(shí)間，提高了片盒升降裝置的安全性。

另外，根據(jù)本發(fā)明的片盒升降裝置還具有如下附加技術(shù)特征：

具體地，所述檢測傳感器為反射式光電傳感器，且所述反射式光電傳感器的光電放射距離可調(diào)節(jié)。從而使得片盒升降裝置結(jié)構(gòu)簡單。

進(jìn)一步地，所述反射式光電傳感器的所述光電放射距離小于當(dāng)所述片盒托盤位于所述承載腔室的底面上時(shí)所述片盒托盤至所述承載腔室的頂壁的距離。從而進(jìn)一步保證了避免片盒由于未放置在所述所需擺放位置而被擠碎。

進(jìn)一步地，所述片盒托盤上形成有多個(gè)安裝孔，其中多個(gè)反射式光電傳感器分別設(shè)在所述多個(gè)安裝孔下方。從而便于反射式光電傳感器的安裝。

在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述檢測傳感器為四個(gè)，且四個(gè)所述檢測傳感器分別設(shè)在所述片盒的所述所需擺放位置的相鄰邊的拐角處。從而可保證四個(gè)檢測傳感器可準(zhǔn)確的檢測片盒是否放置在所述所需擺放位置。

在本發(fā)明的另一些實(shí)施例中，所述檢測傳感器為四個(gè)，且四個(gè)所述檢測傳感器分別設(shè)在所述片盒的所述所需擺放位置的四條邊上的中心位置。從而可保證四個(gè)檢測傳感器可準(zhǔn)確的檢測片盒是否放置在所述所需擺放位置。

進(jìn)一步地，片盒升降裝置還包括：對射式光電傳感器，所述對射式光電傳感器包括發(fā)射部和接收部，其中所述發(fā)射部和接收部分別設(shè)在所述承載腔室的左右兩側(cè)壁上。從而進(jìn)一步保證了避免片盒由于未放置在所述所需擺放位置上而被擠碎。

根據(jù)本發(fā)明第二方面實(shí)施例的片盒傳輸系統(tǒng)，所述片盒傳輸系統(tǒng)中的片盒用于承載至少一個(gè)晶片，包括：用于裝載片盒的片盒裝載裝置；根據(jù)本發(fā)明第一方面實(shí)施例的片盒升降裝置，所述片盒裝載裝置用于將所述片盒傳輸?shù)剿銎型斜P上；取片裝置，所述取片裝置用于對設(shè)置在所述片盒托盤上的所述片盒中的所述晶片進(jìn)行取片；和工藝設(shè)備，所述工藝設(shè)備用于對取出的所述晶片進(jìn)行工藝處理。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的片盒傳輸系統(tǒng)，在片盒升降裝置的片盒托盤升降的過程中，可避免由于片盒未放置在所述所需擺放位置上而被擠碎的風(fēng)險(xiǎn)，避免了擠壞片盒及晶片帶來的高昂的代價(jià)和減少意外的系統(tǒng)維護(hù)時(shí)間，從而降低成本，提高工作效率。