[發(fā)明專(zhuān)利]一種集成的微顯示OLED圖像收發(fā)裝置及其制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210478053.5
• 申請(qǐng)日: 2012-11-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103022076A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉萍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳典邦科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L27/32
• 分類(lèi)號(hào): H01L27/32;H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 深圳新創(chuàng)友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44223
• 代理人: 江耀純

1.一種集成的微顯示OLED圖像收發(fā)裝置，包括基板、所述基板上的用于感光的光電二極管和所述基板上的用于發(fā)光的OLED，所述OLED發(fā)光光譜和所述光電二極管敏感的光譜不重合，其特征在于,還包括阻光層，所述OLED的金屬互連線(xiàn)陽(yáng)極和所述阻光層形成在金屬間絕緣層上，所述阻光層確定所述OLED的發(fā)光區(qū)域的邊界，所述光電二極管設(shè)置于所述OLED的金屬互連線(xiàn)陽(yáng)極旁邊，且位于所述阻光層的下方，所述阻光層僅可透過(guò)預(yù)先設(shè)定的由所述光電二極管感應(yīng)的波段的光。

2.如權(quán)利要求1所述的集成的微顯示OLED圖像收發(fā)裝置，其特征在于,所述阻光層和所述OLED的金屬互連線(xiàn)陽(yáng)極有交疊，所述阻光層邊緣覆蓋在所述OLED的金屬互連線(xiàn)陽(yáng)極上。

3.如權(quán)利要求1或2所述的集成的微顯示OLED圖像收發(fā)裝置，其特征在于,?所述OLED用于發(fā)射可見(jiàn)光，所述光電二極管用于感應(yīng)近紅外波段的紅外光，或者，所述OLED用于發(fā)射近紅外光，所述光電二極管用于感應(yīng)可見(jiàn)光波段的光。

4.如權(quán)利要求1或2所述的集成的微顯示OLED圖像收發(fā)裝置，其特征在于,?所述阻光層是光吸收層或?yàn)V光膜或光吸收層與濾光膜的結(jié)合，所述濾光膜是長(zhǎng)波/短波通干涉濾光膜或帶通型干涉濾光膜，所述干涉濾光膜采用真空鍍膜制備，所述光吸收層采用高分子材料膜,阻光層采用光刻的方式成形。

5.如權(quán)利要求4所述的集成的微顯示OLED圖像收發(fā)裝置，其特征在于,所述帶通型干涉濾光層是多層介質(zhì)膜，所述多層介質(zhì)膜具有由高折射率層和低折射率層交替構(gòu)成的周期性結(jié)構(gòu)。

6.一種集成的微顯示OLED圖像收發(fā)裝置的制作方法，包括在基板上形成光電二極管和OLED的步驟，其特征在于,還包括在所述光電二極管之上形成阻光層的步驟，所述阻光層僅可透過(guò)預(yù)先設(shè)定的由所述光電二極管感應(yīng)的波段的光，所述OLED的金屬互連線(xiàn)陽(yáng)極和所述阻光層形成在金屬間絕緣層上，所述阻光層確定所述OLED的發(fā)光區(qū)域的邊界。

7.如權(quán)利要求6所述的集成的微顯示OLED圖像收發(fā)裝置的制作方法，其特征在于,所述阻光層和所述OLED的金屬互連線(xiàn)陽(yáng)極有交疊，所述阻光層邊緣覆蓋在所述OLED的金屬互連線(xiàn)陽(yáng)極上。

8.如權(quán)利要求6或7所述的集成的微顯示OLED圖像收發(fā)裝置的制作方法，其特征在于,形成所述阻光層的步驟在所述OLED的金屬互連線(xiàn)陽(yáng)極刻蝕成形之后進(jìn)行。

9.如權(quán)利要求8所述的集成的微顯示OLED圖像收發(fā)裝置的制作方法，其特征在于,?形成所述光電二極管、所述OLED和所述阻光層的步驟包括：

在p-Si基板上形成所述n阱；

在所述n阱形成所述光電二極管；

在所述光電二極管和所述基板上形成層間絕緣層；

在所述層間絕緣層中形成所述插拴，在所述層間絕緣層上形成金屬互連線(xiàn)，所述n阱通過(guò)接觸件和所述插拴連接到所述金屬互連線(xiàn)；

在所述層間絕緣層和所述金屬互連線(xiàn)上面形成金屬間絕緣層；

在所述金屬間絕緣層上形成所述OLED的金屬互連線(xiàn)陽(yáng)極；

在所述金屬間絕緣層上形成所述阻光層。

10.如權(quán)利要求8或9所述的集成的微顯示OLED圖像收發(fā)裝置的制作方法，其特征在于,所述金屬間絕緣層經(jīng)化學(xué)機(jī)械拋光或采用平整材料處理。