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[發明專利]存儲器電路在審

專利信息
申請號: 201210473174.0 申請日: 2012-11-20
公開(公告)號: CN103000218A 公開(公告)日: 2013-03-27
發明(設計)人: 顧靖 申請(專利權)人: 上海宏力半導體制造有限公司
主分類號: G11C7/12 分類號: G11C7/12
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 代理人: 駱蘇華
地址: 201203 上海市浦東新*** 國省代碼: 上海;31
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摘要:
搜索關鍵詞: 存儲器 電路
【說明書】:

技術領域

本發明涉及半導體領域,特別涉及一種共享控制線的存儲器電路。

背景技術

閃存以其便捷、存儲密度高、可靠性好等優點成為非揮發性存儲器中研究的熱點。現有的閃存需要更高的存儲密度,因此研制高存儲密度的閃存是閃存技術發展的重要推動力。但是傳統的的閃存在邁向更高存儲密度的時候,由于受到結構的限制,通過縮小器件尺寸來提高存儲密度將會面臨很大的挑戰。

一般而言,閃存分為分柵式閃存和堆疊式閃存兩種結構。相比堆疊式閃存,分柵式閃存由于其特殊的結構,在編程和擦除過程中都體現出其獨特的性能優勢,具有較高的編程效率,且字線的結構可以避免“過擦除”等優點,應用尤其廣泛。但是由于分柵式閃存相對于堆疊式閃存多了一個字線會導致芯片面積的增加,為了提高閃存的存儲密度,通常必須要改進閃存的結構。

公開號為CN1870297A的中國專利文獻提供了一種閃存存儲單元結構及其制備方法,通過采用兩層氮化硅作為浮柵,在橫向和縱向方向上分別存儲四位數據,實現了每個閃存存儲單元能存儲四個數據的功能,大大得提高了閃存的存儲密度。但是形成所述閃存存儲單元結構的工藝較為復雜。

發明內容

本發明解決的問題是提供一種共享控制線的存儲器電路,在不改變存儲單元結構的情況下,減小了存儲器電路所占的芯片面積,從而有利于提高存儲器的存儲密度。

為解決上述問題,本發明技術方案提供了一種存儲器電路,包括:若干個扇區,每一扇區至少包括兩行平行的存儲單元,所述存儲單元包括第一存儲位單元和第二存儲位單元;每一行存儲單元對應于一條第一控制線、一條第二控制線和一條字線,所述第一控制線控制第一存儲位單元,所述第二控制線控制第二存儲位單元,所述第一控制線、第二控制線和字線互相平行;若干條與所述字線垂直的位線;同一扇區內的至少兩條相鄰第一控制線互相連接,同一扇區內的至少兩條相鄰第二控制線互相連接。

可選的,還包括若干個扇區譯碼單元,每個扇區譯碼單元對應于一個扇區,所述扇區譯碼單元包括第一控制線譯碼單元、第二控制線譯碼單元和字線譯碼單元,所述字線譯碼單元用于控制同一扇區中每一條字線的電壓,所述第一控制線譯碼單元用于控制同一扇區第一控制線的電壓,所述第二控制線譯碼單元用于控制同一扇區第二控制線的電壓。

可選的,當同一扇區的第一控制線全部互相連接,同一扇區的第二控制線全部互相連接,所述第一控制線譯碼單元用于同時控制同一扇區中所有的第一控制線的電壓,所述第二控制線譯碼單元用于同時控制同一扇區所有的第二控制線的電壓。

可選的,當進行編程操作或讀取操作時,同一扇區的第一控制線的電壓相等,同一扇區的第二控制線的電壓相等,待編程或待讀取的存儲單元對應的字線的電壓與其余字線的電壓不同。

可選的,位于一個扇區內的一部分第一控制線互相連接,位于一個扇區內對應的一部分第二控制線互相連接,且位于一個扇區內的另一部分第一控制線互相連接,位于一個扇區內對應的另一部分第二控制線互相連接,所述第一控制線譯碼單元用于同時控制不同部分的第一控制線的電壓,所述第二控制線譯碼單元用于同時控制不同部分的第二控制線的電壓。

可選的,當進行編程操作或讀取操作時,同一部分的第一控制線的電壓相等,與同一扇區的其余部分、其余扇區的第一控制線的電壓不相等,同一部分的第二控制線的電壓相等,與同一扇區的其余部分、其余扇區的第二控制線的電壓不相同,且待編程或待讀取的存儲單元對應的字線的電壓與其余字線的電壓不同。

可選的,所述存儲單元包括:半導體襯底,位于所述半導體襯底上的柵極,位于所述柵極兩側的第一存儲位單元和第二存儲位單元,所述第一存儲位單元、第二存儲位單元和半導體襯底與柵極之間具有隧穿氧化層,位于所述第一存儲位單元遠離柵極一側的半導體襯底內的源極,位于所述第二存儲位單元遠離柵極一側的半導體襯底內的漏極,所述第一存儲位單元包括第一浮柵、第一控制柵和覆蓋所述第一浮柵、第一控制柵的第一側墻,所述第二存儲位單元包括第二浮柵、第二控制柵和覆蓋所述第二浮柵、第二控制柵的第二側墻。

可選的,所述第一控制柵與第一控制線相連接,所述第二控制柵與第二控制線相連接,所述柵極與字線相連接,所述源極與位于對應存儲單元一側的位線相連接,所述漏極與位于對應存儲單元另一側的位線相連接。

可選的,在進行編程操作或讀取操作時,通過控制位線的電壓和對應字線的電壓來選擇待編程或待讀取的存儲單元,待編程或待讀取的存儲單元一側的所有位線電壓值與另一側的所有位線電壓值不同。

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