[發(fā)明專利]一種回收多晶硅生產(chǎn)所產(chǎn)生的尾氣的新工藝

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210469181.3
• 申請日: 2012-11-20
• 公開（公告）號: CN102923715A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李小港
• 申請（專利權(quán)）人: 天威四川硅業(yè)有限責任公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107;C01B3/50
• 代理公司: 成都天嘉專利事務所(普通合伙) 51211
• 代理人: 方強

1.一種回收多晶硅生產(chǎn)所產(chǎn)生的尾氣的新工藝，所述尾氣的組分包括H₂、HCl、HSiCl₃、SiCl₄、H₂SiCl₂，其特征在于所述新工藝包括以下步驟：

冷卻步驟：將還原爐輸出的溫度為500~600℃的尾氣經(jīng)第一次冷卻后輸送到HCl轉(zhuǎn)化器；

反應步驟：在HCl轉(zhuǎn)化器中HCl與HSiCl₃、H₂SiCl₂反應完全生成相應的氯硅烷；

氣液分離步驟：將HCl轉(zhuǎn)化器出來的尾氣經(jīng)第二次冷卻后，尾氣溫度降至常溫，再用SiCl₄冷凍液進行噴淋，對H₂與氯硅烷進行氣液分離；

H₂純化步驟：將H₂經(jīng)過吸附柱進行吸附除雜后，進行回收處理；

與H₂純化步驟同時進行的HSiCl₃分離步驟：將氯硅烷液體經(jīng)過精餾后，再將分離出的HSiCl₃進行回收處理。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種回收多晶硅生產(chǎn)所產(chǎn)生的尾氣的新工藝，其特征在于：所述冷卻步驟中，經(jīng)第一次冷卻后進入HCl轉(zhuǎn)化器的尾氣溫度為50~400℃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種回收多晶硅生產(chǎn)所產(chǎn)生的尾氣的新工藝，其特征在于：所述冷卻步驟與氣液分離步驟中，分別采用換熱器作為第一次冷卻與第二次冷卻的冷卻設(shè)備。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種回收多晶硅生產(chǎn)所產(chǎn)生的尾氣的新工藝，其特征在于：所述反應步驟中，反應溫度為50~500℃，壓力為0.1MPa~2.0MPa。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種回收多晶硅生產(chǎn)所產(chǎn)生的尾氣的新工藝，其特征在于：所述反應步驟中，采用固定床反應器、流化床反應器或移動床反應器作為HCl轉(zhuǎn)化器。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種回收多晶硅生產(chǎn)所產(chǎn)生的尾氣的新工藝，其特征在于：所述反應步驟中，采用多個HCl轉(zhuǎn)化器，并用串聯(lián)方式將多個HCl轉(zhuǎn)化器連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的一種回收多晶硅生產(chǎn)所產(chǎn)生的尾氣的新工藝，其特征在于：所述反應步驟中，在HCl轉(zhuǎn)化器中添裝有催化劑。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種回收多晶硅生產(chǎn)所產(chǎn)生的尾氣的新工藝，其特征在于：所述反應步驟中，添裝的催化劑為分子篩催化劑、金屬催化劑、高分子交聯(lián)樹脂催化劑、金屬離子負載型催化劑中的一種。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種回收多晶硅生產(chǎn)所產(chǎn)生的尾氣的新工藝，其特征在于：所述H2純化步驟中，H2吸附柱中裝有吸附劑，吸附劑為活性炭、硅膠或MCM-41分子篩中的一種。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種回收多晶硅生產(chǎn)所產(chǎn)生的尾氣的新工藝，其特征在于：所述H₂純化步驟中，將H₂經(jīng)過吸附柱進行吸附除雜后，輸送給還原爐進行回收處理；所述與H₂純化步驟同時進行的HSiCl₃分離步驟中，將氯硅烷液體經(jīng)過精餾后，再將分離出的HSiCl₃輸送給還原爐進行回收處理。