[發明專利]剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置

無效

• 申請號: 201210467735.6
• 申請日: 2012-11-19
• 公開（公告）號: CN102921198A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 胡義杰;李冬;柳清
• 申請（專利權）人: 天津市中環高科技有限公司
• 主分類號: B01D19/02
• 分類號: B01D19/02;G03F7/32
• 代理公司: 天津中環專利商標代理有限公司 12105
• 代理人: 莫琪

技術領域

本發明涉及消泡裝置，特別涉及一種剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置，主要針對KOH和NaOH的溶液作為剝膜液和顯影液生產時產生的泡沫，或者其他生產過程中一些藥液產生的泡沫，在生產線上進行一系列改造，使泡沫通過物理的方法自動破裂，以達到消除泡沫的目的，此裝置可以沿用到很多需要消泡的領域。

背景技術

在LCD，TFT和TP加工行業中，常用到KOH或NaOH溶液作為剝膜液和顯像液，這種無機堿性藥液在生產線的生產過程中容易產生泡沫，當濃度達到3%-5%（g/L），溫度為45℃-50℃時，藥液的反應和沖刷造成的泡沫非常多，而且不容易消除，給生產造成了非常大的不便。

常用的消泡方法有使用消泡劑，加大抽氣和將泡沫溢出排走，但是消泡劑容易污染生產中的產品，故不能添加；將抽氣排風加大，可以將一部分泡沫抽走，形成負壓，加速了泡沫的破滅，但是由于生產中要維持在一定的溫度（如50℃），抽氣加大，同樣也會將熱量抽走，造成藥液溫度下降，不符合生產工藝的要求，因此使用的抽氣量有限，泡沫又非常多，達不到所需要的除泡效果；第三種方法是讓泡沫流進藥液槽，藥液槽中增加一擋板，泡沫高過擋板上邊緣而溢出，由于泡沫太多，藥液流量比較大，所以流進藥液槽的泡沫很有限，很多泡沫還停留在生產線的箱體內，因此效果也不明顯，所以急需一種更有效的消泡方案。

發明內容

本發明的目的是針對現有技術的不足，提供一種網狀加熱管和網狀消泡棉及冷藥液噴淋裝置，力求保證生產過程中產生的泡沫絕大部分都被消滅，與生產工藝進行配合，且不污染藥液，從而保證生產的正常進行，提高產品品質。

本發明是通過這樣的技術方案實現的：剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置，包括生產線中的基片傳動箱和藥液槽，其特征在于，基片傳動箱上方安裝有抽風管和若干藥液噴淋，藥液噴淋的下方為傳送滾輪，傳送滾輪下方設有網狀加熱管，網狀加熱管下面為網狀消泡棉，基片傳動箱底部設有藥液排放口，基片傳動箱的兩個側面有連接前后工序的用于玻璃基片傳送的通道開口，藥液槽上的藥液回流口置于藥液液位之下，藥液槽藥液的上方裝有添加新的冷藥液的噴淋；

????基片傳動箱底部的藥液排放口通過管道連通藥液槽，藥液槽的出液口通過管道與噴淋泵連接，噴淋泵通過供液管道連接生產線機體的藥液噴淋，形成一個完整的供液系統；

使用剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置對生產過程中剝膜顯影液KOH/NaOH產生的泡沫進行消泡的方法，包括如下步驟：?

a)???選用KOH或NaOH為剝膜顯影液，剝膜顯影液通過藥液噴淋沖刷運行在滾輪上的玻璃基片；

b)???玻璃基片上有光刻膠，剝膜顯影液與光刻膠發生反應并從玻璃基片上沖刷流下，產生很多泡沫，參加反應后的剝膜顯影液和泡沫流下，落在網狀加熱管上，氣泡瞬間接觸加熱溫度為80～180度的網狀加熱管時破裂；?

c)???參加反應后的剝膜顯影液和剩余的泡沫通過網狀加熱管下方的網狀消泡棉時，利用網狀消泡棉內部彎曲結構，增加藥液和氣泡流下的流動路徑、增加氣泡和網狀消泡棉的摩擦，使一部分泡沫破裂，另一部分泡沫被滯留在網狀消泡棉的網內，經過上面不斷流下的經網狀加熱管高溫加熱的剝膜顯影液的沖刷，再使部分泡沫隨之而破裂；

d)??????通過抽風管抽走基片傳動箱內的空氣和水氣，將部分氣泡抽走，造成箱體內負壓，對泡沫的破裂產生加速作用；

e)???剝膜顯影液通過管道流回藥液槽，管道中填充了網狀消泡棉，繼續增加促使泡沫破裂的流動路徑，藥液回流管出口置于剝膜顯影液液面以下，減少因下流速度太快而產生新的氣泡；

f)???在藥液槽的上面，裝有添加新剝膜顯影液的新藥液噴淋，噴出剝膜顯影液的形狀為傘形，以增加藥液噴灑的面積，新的剝膜顯影液的溫度為0～20度，剩余的泡沫會漂浮在藥液槽上表層，熱的泡沫接觸噴灑出來的冷藥液后因冷熱溫差而破裂，完成了整個體系中最后的除泡過程。

本發明的優點：通過在剝膜顯影生產基片傳動箱和藥液槽上進行一系列的物理改造以達到物理消泡的效果，消泡裝置可以保證生產過程中產生的泡沫絕大部分都破滅，對生產工藝進行配合，且不污染藥液，從而保證生產的正常進行，提高產品品質。

附圖說明

圖1為剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置應用示意圖；

圖2為剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置中基片傳動箱示意圖。