[發明專利]剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置

無效

• 申請號: 201210467735.6
• 申請日: 2012-11-19
• 公開（公告）號: CN102921198A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 胡義杰;李冬;柳清
• 申請（專利權）人: 天津市中環高科技有限公司
• 主分類號: B01D19/02
• 分類號: B01D19/02;G03F7/32
• 代理公司: 天津中環專利商標代理有限公司 12105
• 代理人: 莫琪

1.剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置，包括生產線中的基片傳動箱和藥液槽，其特征在于，基片傳動箱上方安裝有抽風管和若干藥液噴淋，藥液噴淋的下方為傳送滾輪，傳送滾輪下方設有網狀加熱管，網狀加熱管下面為網狀消泡棉，基片傳動箱底部設有藥液排放口，基片傳動箱的兩個側面有連接前后工序的用于玻璃基片傳送的通道開口，藥液槽上的藥液回流口置于藥液液位之下，藥液槽藥液的上方裝有添加新的冷藥液的噴淋；

????基片傳動箱底部的藥液排放口通過管道連通藥液槽，藥液槽的出液口通過管道與噴淋泵連接，噴淋泵通過供液管道連接生產線機體的藥液噴淋，形成一個完整的供液系統；

使用剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置對生產過程中剝膜顯影液KOH/NaOH產生的泡沫進行消泡的方法，包括如下步驟：?

ａ)選用KOH或NaOH為剝膜顯影液，剝膜顯影液通過藥液噴淋沖刷運行在滾輪上的玻璃基片；

ｂ)玻璃基片上有光刻膠，剝膜顯影液與光刻膠發生反應并從玻璃基片上沖刷流下，產生很多泡沫，參加反應后的剝膜顯影液和泡沫流下，落在網狀加熱管上，氣泡瞬間接觸加熱溫度為80～180度的網狀加熱管時破裂；?

ｃ)參加反應后的剝膜顯影液和剩余的泡沫通過網狀加熱管下方的網狀消泡棉時，利用網狀消泡棉內部彎曲結構，增加藥液和氣泡流下的流動路徑、增加氣泡和網狀消泡棉的摩擦，使一部分泡沫破裂，另一部分泡沫被滯留在網狀消泡棉的網內，經過上面不斷流下的經網狀加熱管高溫加熱的剝膜顯影液的沖刷，再使部分泡沫隨之而破裂；

ｄ)通過抽風管抽走基片傳動箱內的空氣和水氣，將部分氣泡抽走，造成箱體內負壓，對泡沫的破裂產生加速作用；

e)剝膜顯影液通過管道流回藥液槽，管道中填充了網狀消泡棉，繼續增加促使泡沫破裂的流動路徑，藥液回流管出口置于剝膜顯影液液面以下，減少因下流速度太快而產生新的氣泡；

f)在藥液槽的上面，裝有添加新剝膜顯影液的新藥液噴淋，噴出剝膜顯影液的形狀為傘形，以增加藥液噴灑的面積，新的剝膜顯影液的溫度為0～20度，剩余的泡沫會漂浮在藥液槽上表層，熱的泡沫接觸噴灑出來的冷藥液后因冷熱溫差而破裂，完成了整個體系中最后的除泡過程。