[發明專利]探針針壓校正方法及其校正設備

有效

• 申請號: 201210462130.8
• 申請日: 2012-11-16
• 公開（公告）號: CN103207293A
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發明（設計）人: 范維如;劉永欽;洪嘉宏;陳興洲
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/04
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 關暢;王燕秋

技術領域

本發明與點測裝置(prober)的探針針壓(probing?force)的校正方法有關，特別是指一種利用一針壓檢測電路來校正二探針針壓的方法，以使二探針以實質上相同的針壓與待測物確實電性接觸。本發明也同時涉及一種實施前述探針針壓校正方法的校正設備，可確實地校正針壓，以利后續的待測物測試作業順利進行。

背景技術

點測設備(prober)為一種利用探針(probe)來檢測諸如發光二極管等半導體晶粒性能表現或特性參數的設備。在點測作業進行時，假使探針針壓(probing?force)過大，不但晶粒表面會因針痕過長影響外觀檢驗質量，且可能會造成晶粒表面損傷，也容易造成探針磨損，而一旦針壓過小，可能造成探針與晶粒接點接觸不良，進而影響點測結果，因此，如何確保探針能以適當的針壓抵接晶粒接點，一直是業者關注的議題。

傳統上，利用搭載于點測裝置中的機械式尋邊器(edge?sensor)，例如在中國臺灣第M345241、M382589等新型專利說明書中所揭示的各式各樣尋邊器，可達成確保探針能確實接觸并施加一定壓抵力量于待測晶粒的接點的目的。一般而言，這些習用機械式尋邊器的結構，大體上包含有一基座、一與該基座之間通過一彈片彈性連接并可相對該基座擺動的擺臂，以及一可調預力施加器，其中，探針固定于該擺臂上，且該可調預力施加器通過磁性吸力、磁性斥力或者彈簧回復力來施加一作用于該基座與該擺臂之間的預力，使該探針在未受力的狀態下，二個分別設于該基座與該擺臂上的電性接點可以保持接觸而電導通，而一旦探針接觸并持續壓抵待測晶粒的接點至前述預力被克服的程度時，該擺臂將相對該基座擺動使該二電性接點分離造成斷路，因此，通過該可調預力施加器給予特定的預力，并在偵測到前述二電性接點斷開時的關鍵點停止承載晶粒的升降載臺上升，即可確保探針在點測作業時已經確實接觸并施加一特定壓抵力量于待測晶粒的接點上。

上述利用機械式尋邊器來設定探針針壓的方法雖然行之有年，但機械式尋邊器在本質上具有若干缺點，例如：連接于基座與擺臂之間的彈片在長期使用下容易彈性疲乏，以致在進行點測作業中，可能需要拆裝尋邊器以檢測并調整施加的預力來校正針壓；其次，二個分別設于基座與擺臂上的電性接點在長期使用下容易碳化，不但必須清理保養，且清理完成之后還需要重新校正整個機械式尋邊器，徒增作業時間。此外，以一般發光二極管封裝模塊的點測作業而言，是使用二組機械式尋邊器分別夾持住一根探針，并將待測的發光二極管封裝模塊固定于一可垂直升降的升降載臺上，通過該升降載臺的上升動作或者各個機械式尋邊器同步下降，使待測物的二電性接點分別與前述二探針接觸，而進行針壓設定及點測作業，然而，前述二探針分別架設在機械式尋邊器上時，可能發生針尖位置一高一低的情形，而且承載該待測物的承載面也可能發生本身表面平整度不佳，或者裝配時因傾斜以致水平度不佳的問題，因此，待測物隨著升降載臺上升或者二探針隨著機械式尋邊器同步下降的過程中，前述二探針可能發生并非同時，而是一前一后抵觸在待測物的二電性接點上的情形，以致造成分別施加于該待測物二接點上的針壓不平均，甚至發生后接觸的探針針壓適中而先接觸的探針壓已經過當的問題。

發明內容

針對上述問題，本發明的主要目的在于提供一種探針針壓校正方法，其可使二探針以實質上相同的針壓電性接觸待測物，而不受二針尖位置差異、待測物承載面的平整度或傾斜度的影響。

為達到上述目的，本發明所提供的一種探針針壓校正方法，其特征在于包含有下列步驟：a)使一第一探針與一第二探針電性接觸一待測物，其中所述第一探針與所述第二探針分別電性耦接至一針壓檢測電路的一第一接點與一第二接點，所述針壓檢測電路具有一電源以及與所述電源電連接的一針壓檢測單元，所述針壓檢測單元包含有一升壓元件以及與所述升壓元件并聯的一探針連接線路，所述探針連接線路具有所述第一接點與所述第二接點；b)使所述第一探針離開所述待測物而與所述待測物電性絕緣；c)擷取所述針壓檢測單元的跨電壓，同時使所述第一探針朝向所述待測物近接位移而再次與所述待測物電性接觸，并在偵測到所述針壓檢測單元的跨電壓自一恒定值下降之后，停止所述第一探針的動作；d)使所述第二探針離開所述待測物而與所述待測物電性絕緣；e)擷取所述針壓檢測單元的跨電壓，同時使所述第二探針朝向所述待測物接近位移而再次與所述待測物電性接觸，并在偵測到所述針壓檢測單元的跨電壓自一恒定值下降之后，停止所述第二探針的動作。