[發明專利]探針針壓校正方法及其校正設備

有效

• 申請號: 201210462130.8
• 申請日: 2012-11-16
• 公開（公告）號: CN103207293A
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發明（設計）人: 范維如;劉永欽;洪嘉宏;陳興洲
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/04
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 關暢;王燕秋

1.一種探針針壓校正方法，其特征在于包含有下列步驟：

a)使一第一探針與一第二探針電性接觸一待測物，其中所述第一探針與所述第二探針分別電性耦接至一針壓檢測電路的一第一接點與一第二接點，所述針壓檢測電路具有一電源以及與所述電源電連接的一針壓檢測單元，所述針壓檢測單元包含有一升壓元件以及與所述升壓元件并聯的一探針連接線路，所述探針連接線路具有所述第一接點與所述第二接點；

b)使所述第一探針離開所述待測物而與所述待測物電性絕緣；

c)擷取所述針壓檢測單元的跨電壓，同時使所述第一探針朝向所述待測物近接位移而再次與所述待測物電性接觸，并在偵測到所述針壓檢測單元的跨電壓自一恒定值下降之后，停止所述第一探針的動作；

d)使所述第二探針離開所述待測物而與所述待測物電性絕緣；

e)擷取所述針壓檢測單元的跨電壓，同時使所述第二探針朝向所述待測物接近位移而再次與所述待測物電性接觸，并在偵測到所述針壓檢測單元的跨電壓自一恒定值下降之后，停止所述第二探針的動作。

2.一種探針針壓校正方法，其特征在于包含有下列步驟：

a)使一第一探針與一第二探針電性接觸一待測物，其中所述第一探針與所述第二探針分別電性耦接至一針壓檢測電路的一第一接點與一第二接點，所述針壓檢測電路具有一電源以及與所述電源電連接的一針壓檢測單元，所述針壓檢測單元包含有一升壓元件以及與所述升壓元件并聯的一探針連接線路，所述探針連接線路具有所述第一接點與所述第二接點；

b)使所述第一探針上升離開所述待測物而與所述待測物電性絕緣，并通過擷取所述針壓檢測單元的跨電壓，來判斷所述第一探針從與所述待測物電性導通轉變成電性絕緣的時間點時，所述第一探針的臨界位置；

c)使所述第一探針下降朝向所述待測物近接位移，并停止于所述臨界位置下方一預定距離的一第一接觸位置，使所述第一探針再次與所述待測物電性接觸；

d)使所述第二探針上升離開所述待測物而與所述待測物電性絕緣，并通過擷取所述針壓檢測單元的跨電壓，來判斷所述第二探針從與所述待測物電性導通轉變成電性絕緣的時間點時，所述第二探針的臨界位置；

e)使所述第二探針下降朝向所述待測物近接位移，并停止于所述第二探針的臨界位置下方實質上與步驟c)所述的預定距離相同距離的一第二接觸位置，使所述第二探針再次與所述待測物電性接觸。

3.如權利要求1或2所述的探針針壓校正方法，其特征在于：所述針壓檢測電路還包含有一與所述電源電連接且與所述針壓檢測單元串聯的分壓元件。

4.如權利要求3所述的探針針壓校正方法，其特征在于：所述分壓元件的電阻值，小于所述針壓檢測單元的升壓元件的電阻值。

5.如權利要求1或2所述的探針針壓校正方法，其特征在于：步驟a)還包含有下列步驟：

a1)使所述第一探針與所述第二探針間隔對應于所述待測物的上方；

a2)擷取所述針壓檢測單元的跨電壓；

a3)使所述待測物與所述第一及第二探針相對近接位移，使所述待測物能與所述第一及第二探針能從彼此間隔對應而變成彼此接觸而電連接；

a4)當偵測到所述針壓檢測單元的跨電壓自一恒定值下降之后，停止所述待測物與所述第一及第二探針相對近接位移。

6.如權利要求5所述的探針針壓校正方法，其特征在于：在步驟a1)中，所述待測物承置于一升降載臺；在步驟a3)中，通過所述升降載臺的上升使所述待測物與所述第一及第二探針相對近接位移；而在步驟a4)中，通過停止所述升降載臺上升來達到停止所述待測物與所述第一及第二探針相對近接位移。

7.如權利要求6所述的探針針壓校正方法，其特征在于：在步驟a4)中，在判斷所述針壓檢測單元的跨電壓自所述恒定值下降至一閾值之后，停止所述升降載臺上升。

8.如權利要求5所述的探針針壓校正方法，其特征在于：在步驟a1)中，所述第一探針與所述第二探針分別固定于一第一升降軸與一第二升降軸而對應于所述待測物的上方；在步驟a3)中，通過所述第一升降軸與所述第二升降軸下降達到使所述待測物與所述第一及第二探針相對近接位移；而在步驟a4)中，是通過停止所述第一與所述第二升降軸下降來達到停止所述待測物與所述第一及第二探針相對近接位移。