[發明專利]釤摻雜堿土釩酸鹽發光薄膜、制備方法及其應用

無效

• 申請號: 201210458933.6
• 申請日: 2012-11-15
• 公開（公告）號: CN103805187A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 周明杰;王平;陳吉星;張振華
• 申請（專利權）人: 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司
• 主分類號: C09K11/69
• 分類號: C09K11/69;H01L33/50
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

【技術領域】

本發明涉及一種釤摻雜堿土釩酸鹽發光薄膜及其制備方法、以及薄膜電致發光器件及其制備方法。

【背景技術】

薄膜電致發光顯示器(TFELD)由于其主動發光、全固體化、耐沖擊、反應快、視角大、適用溫度寬、工序簡單等優點，已引起了廣泛的關注，且發展迅速。目前，研究彩色及至全色TFELD，開發多波段發光的薄膜，是該課題的發展方向。但是，可應用于薄膜電致發光顯示器的釤摻雜堿土釩酸鹽發光薄膜，仍未見報道。

【發明內容】

基于此，有必要提供一種可應用于薄膜電致發光器件的釤摻雜堿土釩酸鹽發光薄膜及其制備方法、以及薄膜電致發光器件及其制備方法。

一種釤摻雜堿土釩酸鹽發光薄膜，其化學式為Me_2-xV₂O₇:xSm³⁺，其中，0.01≤x≤0.05，Me_2-xV₂O₇是基質，釤元素是激活元素，Me為Mg、Ca、Sr、Ba或Zn。

在優選的實施例中，釤摻雜堿土釩酸鹽發光薄膜的厚度為50nm～300nm。

一種釤摻雜堿土釩酸鹽發光薄膜的制備方法，包括以下步驟：

根據Me_2-xV₂O₇:xSm³⁺各元素的化學計量比將MeO，V₂O₅和Sm₂O₃粉體，經過混合后，在900℃～1300℃下燒結得到靶材；

將襯底裝入化學氣相沉積設備的反應室中，并將反應室的真空度設置為1.0×10^-3Pa～1.0×10^-5Pa；

調節基靶間距為45mm～95mm，襯底的溫度為250℃～750℃，工作氣體的流量為10sccm～40sccm，工作壓強為0.5Pa～5Pa，脈沖激光能量為80W～300W，進行脈沖激光沉積得到化學式為Me_2-xV₂O₇:xSm³⁺的釤摻雜堿土釩酸鹽發光薄膜，其中，0.01≤x≤0.05，Me_2-xV₂O₇是基質，釤元素是激活元素，Me為Mg、Ca、Sr、Ba或Zn。

在優選的實施例中，基靶間距為60mm，襯底的溫度為500℃，工作氣體的流量為20sccm，工作壓強為3Pa，脈沖激光能量為150W。

在優選實施例中，釤摻雜堿土釩酸鹽發光薄膜的厚度為50nm～300nm。

一種薄膜電致發光器件，該薄膜電致發光器件包括依次層疊的襯底、陽極層、發光層以及陰極層，所述發光層的材料為釤摻雜堿土釩酸鹽發光薄膜，該釤摻雜堿土釩酸鹽發光薄膜的化學式為Me_2-xV₂O₇:xSm³⁺的釤摻雜堿土釩酸鹽發光薄膜，其中，0.01≤x≤0.05，Me_2-xV₂O₇是基質，釤元素是激活元素，Me為Mg、Ca、Sr、Ba或Zn。

在優選實施例中，發光層的厚度為50nm～300nm。

一種薄膜電致發光器件的制備方法，包括以下步驟：

提供具有陽極的襯底；

在所述陽極上形成發光層，所述發光層的材料為釤摻雜堿土釩酸鹽發光薄膜，該釤摻雜堿土釩酸鹽發光薄膜的化學式為Me_2-xV₂O₇:xSm³⁺的釤摻雜堿土釩酸鹽發光薄膜，其中，0.01≤x≤0.05，Me_2-xV₂O₇是基質，釤元素是激活元素，Me為Mg、Ca、Sr、Ba或Zn；

在所述發光層上形成陰極。

在優選的實施例中，所述發光層的制備包括以下步驟：

根據Me_2-xV₂O₇:xSm³⁺各元素的化學計量比將MeO，V₂O₅和Sm₂O₃粉體，經過混合后，在900℃～1300℃下燒結得到靶材；