[發(fā)明專利]釤摻雜堿土釩酸鹽發(fā)光薄膜、制備方法及其應(yīng)用

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210458933.6
• 申請日: 2012-11-15
• 公開（公告）號: CN103805187A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周明杰;王平;陳吉星;張振華
• 申請（專利權(quán)）人: 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術(shù)有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司
• 主分類號: C09K11/69
• 分類號: C09K11/69;H01L33/50
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種釤摻雜堿土釩酸鹽發(fā)光薄膜，其特征在于，其化學(xué)式為Me_2-xV₂O₇:xSm³⁺，其中，0.01≤x≤0.05，Me_2-xV₂O₇是基質(zhì)，釤元素是激活元素，Me為Mg、Ca、Sr、Ba或Zn。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的釤摻雜堿土釩酸鹽發(fā)光薄膜，其特征在于，所述釤摻雜堿土釩酸鹽發(fā)光薄膜的厚度為50nm～300nm。

3.一種釤摻雜堿土釩酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

根據(jù)Me_2-xV₂O₇:xSm³⁺各元素的化學(xué)計量比將MeO，V₂O₅和Sm₂O₃粉體，經(jīng)過混合后，在900℃～1300℃下燒結(jié)得到靶材；

將襯底裝入脈沖激光沉積設(shè)備的反應(yīng)室中，并將反應(yīng)室的真空度設(shè)置為1.0×10^-3Pa～1.0×10^-5Pa；

調(diào)節(jié)基靶間距為45mm～95mm，襯底的溫度為250℃～750℃，工作氣體的流量為10sccm～40sccm，工作壓強為0.5Pa～5Pa，脈沖激光能量為80W～300W，進行脈沖激光沉積得到化學(xué)式為Me_2-xV₂O₇:xSm³⁺的釤摻雜堿土釩酸鹽發(fā)光薄膜，其中，0.01≤x≤0.05，Me_2-xV₂O₇是基質(zhì)，釤元素是激活元素，Me為Mg、Ca、Sr、Ba或Zn。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的釤摻雜堿土釩酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法，其特征在于，所述基靶間距為60mm，襯底的溫度為500℃，工作氣體的流量為20sccm，工作壓強為3Pa，脈沖激光能量為150W。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的釤摻雜堿土釩酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法，其特征在于，所述釤摻雜堿土釩酸鹽發(fā)光薄膜的厚度為50nm～300nm。

6.一種薄膜電致發(fā)光器件，該薄膜電致發(fā)光器件包括依次層疊的襯底、陽極層、發(fā)光層以及陰極層，其特征在于，所述發(fā)光層的材料為釤摻雜堿土釩酸鹽發(fā)光薄膜，該釤摻雜堿土釩酸鹽發(fā)光薄膜的化學(xué)式為Me_2-xV₂O₇:xSm³⁺，其中，0.01≤x≤0.05，Me_2-xV₂O₇是基質(zhì)，釤元素是激活元素，Me為Mg、Ca、Sr、Ba或Zn。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的薄膜電致發(fā)光器件，其特征在于，所述發(fā)光層的厚度為50nm～300nm。

8.一種薄膜電致發(fā)光器件的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供具有陽極的襯底；

在所述陽極上形成發(fā)光層，所述發(fā)光層的薄膜為釤摻雜堿土釩酸鹽發(fā)光薄膜，該釤摻雜堿土釩酸鹽發(fā)光薄膜的化學(xué)式為Me_2-xV₂O₇:xSm³⁺，其中，0.01≤x≤0.05，Me_2-xV₂O₇是基質(zhì)，釤元素是激活元素，Me為Mg、Ca、Sr、Ba或Zn；

在所述發(fā)光層上形成陰極。