[發明專利]曝光質量檢測方法

無效

• 申請號: 201210457509.X
• 申請日: 2012-11-13
• 公開（公告）號: CN102929105A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 王舜祺
• 申請（專利權）人: 美迪亞印刷設備（杭州）有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G01N21/88
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 宋曉寶;郭曉東

技術領域

本發明涉及一種曝光質量檢測方法。

背景技術

以往，為了制造出高質量的印刷板，通常在制版之后檢測通過制版裝置進行曝光后的印刷板，判斷通過曝光而得到的圖案是否滿足質量標準。

關于對曝光后的印刷板的質量檢測，大致檢測印刷板上的曝光而形成的圖像質量（印刷物的質量）和幾何學精度/重合精度（曝光再現性），其中，幾何學精度/重合精度的指標包括絕對尺寸、圖像斜度、線性度（內部歪斜）、曝光開始位置、重合精度（registration）。

如圖13所示，在基板的表面和背面都印刷基板的情況下，如果表面和背面的圖案斜度不同，則存在表面和背面的圖案的位置不重合的缺陷。另外，如圖14A、圖14B所示，在為了制作冊子而在表面進行曝光的情況下，如果內部圖案的線條歪斜，則印刷品圖案的大小不重合。這樣，在進行多種顏色印刷的情況下，將會產生顏色偏差的缺陷。另外，在曝光再現性（重合精度）不好的印刷板上進行印刷的情況下，同樣顏色也會出現偏差。

關于對上述指標的檢測，如圖15A、15B所示，以往將被評價印刷版1與標準印刷版2進行比較，然后通過顯微鏡觀察被評價印刷版1和標準印刷版2的線條之間的差異，由此對曝光后的印刷板進行質量檢測。但是通過這種檢測方法進行測定的時間長，而且不能夠進行高精度的修正。

發明內容

本發明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種能夠快速對曝光后的印刷板進行質量檢測并且能夠高精度地進行修正的曝光質量檢測方法。

為了解決上述問題，本發明的技術方案1提供一種曝光質量檢測方法，其特征在于，包括：曝光工序，通過制版裝置對印刷版進行曝光而形成格子圖案；測定工序，測定印刷版和所述格子圖案；判定工序，判定所述測定的測定結果。

在技術方案2中，優選在所述判定工序中，判定絕對尺寸、圖像斜度、線性度、曝光開始位置、重合精度中的至少一個。

在技術方案3中，優選在判定絕對尺寸的過程中，確定所述印刷版的四角上的4個點，算出相鄰的兩個點之間距離，將各個距離與理論值進行比較。

在技術方案4中，優選在判定圖像斜度的過程中，確定構成所述格子圖案的線條的交叉點中的規定的幾個點，然后測定水平方向上的各點的連線相對于平行方向的斜度，并且測定與水平方向垂直的垂直方向上的各點的連線相對于垂直方向的斜度，另外測定所述印刷版的對角線的長度，將它們與理論值進行比較。

在技術方案5中，優選在判定線性度的過程中，在判定線性度的過程中，確定所述印刷版上的形成格子圖案的各個線條的交叉點，然后測定出形成格子圖案的一個線條上的至少兩個交叉點之間的距離，將該距離與理論值進行比較。

在技術方案6中，優選在判定曝光開始位置的過程中，確定曝光開始位置相對于所述印刷版邊緣的坐標，判定在多次曝光中該坐標是否相同。

在技術方案7中，優選在判定重合精度的過程中，判定對所述印刷版進行多次曝光時各次曝光中的線性度是否相同。

以往，將被評價印刷版與標準印刷版進行比較，然后通過顯微鏡觀察被評價印刷版和基準基板的線條之間的差異，由此對曝光后的印刷板進行質量檢測。但是通過這種檢測方法進行測定的時間長，而且不能夠進行高精度的修正。

根據本發明，能夠縮短測定時間，并且能夠高精度地進行修正，從而能夠避免通過以往那樣的檢測方法進行測定而測定時間長且不能夠進行高精度的修正的缺陷

附圖說明

圖1是表示本發明的制版設備的主視立體圖。

圖2是表示本發明的制版設備的后視立體圖。

圖3是表示本發明的制版設備的打開前板后的主視立體圖。

圖4是表示本發明的制版設備的內部結構的局部圖。

圖5是表示本發明的制版設備的記錄滾筒的側視圖。

圖6是表示制版設備制造出的印刷板的俯視示意圖。

圖7是表示檢測印刷板的絕對尺寸的示意圖。

圖8是表示檢測印刷板的圖像斜度（直線性）的示意圖。

圖9是表示檢測印刷板的圖像的線性度（內部歪斜）的示意圖。

圖10是表示檢測印刷板的圖像的曝光開始位置的示意圖。

圖11是表示檢測印刷板的圖像的重合精度的示意圖。

圖12是表示本發明的檢測步驟的流程圖。

圖13是表示因圖像傾斜而引起的缺陷的示意圖。

圖14A、圖14B是表示因線性度（內部歪斜）而引起的缺陷的示意圖。

圖15A、圖15B是表示現有的曝光質量檢測方法的示意圖。