[發(fā)明專利]曝光質量檢測方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210457509.X
• 申請日: 2012-11-13
• 公開（公告）號: CN102929105A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發(fā)明（設計）人: 王舜祺
• 申請（專利權）人: 美迪亞印刷設備（杭州）有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G01N21/88
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 宋曉寶;郭曉東

1.一種曝光質量檢測方法，其特征在于，包括：

曝光工序，通過制版裝置對印刷版進行曝光而形成格子圖案；

測定工序，測定印刷版和所述格子圖案；

判定工序，判定所述測定的測定結果。

2.如權利要求1所述的曝光質量檢測方法，其特征在于，在所述判定工序中，判定絕對尺寸、圖像斜度、線性度、曝光開始位置、重合精度中的至少一個。

3.如權利要求2所述的曝光質量檢測方法，其特征在于，在判定絕對尺寸的過程中，確定所述印刷版的四角上的4個點，算出相鄰的兩個點之間距離，將各個距離與理論值進行比較。

4.如權利要求2所述的曝光質量檢測方法，其特征在于，在判定圖像斜度的過程中，確定構成所述格子圖案的線條的交叉點中的規(guī)定的幾個點，然后測定水平方向上的各點的連線相對于平行方向的斜度，并且測定與水平方向垂直的垂直方向上的各點的連線相對于垂直方向的斜度，另外測定所述印刷版的對角線的長度，將它們與理論值進行比較。

5.如權利要求2所述的曝光質量檢測方法，其特征在于，在判定線性度的過程中，確定所述印刷版上的形成格子圖案的各個線條的交叉點，然后測定出形成格子圖案的一個線條上的至少兩個交叉點之間的距離，將該距離與理論值進行比較。

6.如權利要求2所述的曝光質量檢測方法，其特征在于，在判定曝光開始位置的過程中，確定曝光開始位置相對于所述印刷版邊緣的坐標，判定在多次曝光中該坐標是否相同。

7.如權利要求2所述的曝光質量檢測方法，其特征在于，在判定重合精度的過程中，判定對所述印刷版進行多次曝光時各次曝光中的線性度是否相同。