[發明專利]一種微合金工藝無效
| 申請號： | 201210456755.3 | 申請日： | 2012-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN103811594A | 公開（公告）日： | 2014-05-21 |
| 發明（設計）人： | 毛華軍 | 申請（專利權）人： | 毛華軍 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00;C23C10/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 264006 山東省煙*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 合金 工藝 | ||
【權利要求書】：
1.一種微合金工藝，其特征在于，所述工藝步驟如下：
打開合金爐，將合金爐的氣壓調整到45-55psi，將合金爐的溫度升至300℃，穩定10分鐘；
將芯片放至載片臺上，將載片臺載入合金爐內；
微合金過程如下：預熱1.5min→恒溫8min→爐口冷卻2.5min→爐外冷卻3min；
合金完后，退出合金爐，將芯片取出。
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