[發明專利]一種晶片清洗裝置

有效

• 申請號: 201210455173.3
• 申請日: 2012-11-13
• 公開（公告）號: CN103801536A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 王沖
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: B08B7/04
• 分類號: B08B7/04;B08B1/00;B08B1/04;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 何麗英

技術領域

本發明屬于IC及LED行業中晶片清洗技術領域，具體地說是一種晶片清洗裝置。

背景技術

在IC及LED行業，晶片上的塵埃顆粒對產品的影響是顯而易見的。由于芯片上的電路非常小，以致于極其微小的灰塵微粒都會像山路上的滑坡一樣具有毀滅作用。晶片加工車間常因污染而扔掉10％到30％的晶片，在這種情況下，晶片表面顆粒的清洗顯得尤為重要，而傳統的清洗方式為單面清洗，在晶片翻轉和轉運過程中，晶片背面的顆?；氐舻骄妫斐晌廴荆瑢p面同時進行清洗，能有效解決這一問題，良好的清洗能大幅度提高產品良率，減少浪費。

發明內容

針對上述問題，本發明的目的在于提供一種晶片清洗裝置。該晶片清洗裝置大幅度提高產品良率，減少浪費。

為了實現上述目的，本發明采用以下技術方案：

一種晶片清洗裝置，包括依次通過傳送帶連接的發片片盒、預清洗單元、滾輪組清洗機構、烘干系統及收片片盒，帶清洗的晶片從發片片盒中通過傳送帶依次進入預清洗單元、滾輪組清洗機構、烘干系統及收片片盒中，進行預清洗、主清洗、烘干及收片的工藝過程。

所述預清洗單元輸入端的傳送帶上的晶片通過機械手抓取放入預清洗單元中，預清洗單元內的晶片通過機械手抓取放在預清洗單元輸出端的傳送帶上。

所述預清洗單元包括噴嘴、雙面毛刷臂及毛刷，其中噴嘴設置于晶片的正反兩面，所述雙面毛刷臂的兩個執行端分別與晶片的正反兩面相對應、并分別連接有正面毛刷和背面毛刷，所述正面毛刷和背面毛刷將晶片夾緊、并通過雙面毛刷臂的驅動旋轉，對晶片的正反兩面同時進行刷洗。

所述雙面毛刷臂包括電機、皮帶輪I、皮帶輪II、皮帶輪III、皮帶輪IV、皮帶I、皮帶II、皮帶III、壓力調節桿I及壓力調節桿II，其中電機的輸出端與皮帶輪III連接，所述皮帶輪III通過皮帶II與皮帶輪II傳動連接，所述皮帶輪II同軸設有皮帶輪I和皮帶輪IV，所述皮帶輪I通過皮帶I與設置于晶片上方的壓力調節桿I傳動連接，所述皮帶輪IV通過皮帶III與設置于晶片下方的壓力調節桿II傳動連接；所述壓力調節桿I與晶片正面相對應的一端連接有正面毛刷，所述壓力調節桿II與晶片背面相對應的一端連接有背面毛刷。

所述滾輪組清洗機構包括噴嘴和多個直徑不同的滾輪組刷子，晶片的正反兩面均設有噴嘴，帶清洗晶片穿過各滾輪組刷子，通過各滾輪組刷子與晶片表面的速度差使晶片在滾輪組刷子之間形成滑動，清除晶片表面顆粒。

所述滾輪組刷子包括依次沿晶片送入方向設置的送片滾輪組、主清洗滾輪組及收片滾輪組，所述送片滾輪組和收片滾輪組的直徑大于主清洗滾輪組的直徑。

所述裝置還包括廢液回收系統。

所述裝置對2-6英寸標準圓形晶片或掩膜版進行清洗。

本發明的優點及有益效果是：

1、本發明對晶片正反兩面同時進行清洗，避免了單面清洗晶片在翻轉和搬運過程中，造成二次污染。

2、本發明具有占地面積小，安裝容易，維護方便，使用簡單，單臺設備產能高等特點。

3、本發明通過軟件的設置，適應不同尺寸、不同污染程度晶片的清洗作業，不需要更換硬件。

4、本發明能在晶片的加工過程中清除晶片表面顆粒，減少因為顆粒造成的產品缺陷，大幅提高產品良率，減少浪費，提高利潤率。

5、本發明對清洗液進行回收再利用，節約清洗液，降低生產成本。

6、本發明具有快速烘干系統，能對清洗完的晶片進行快速烘干，減少傳統清洗模式的甩干工序，有效減少設備投入。

附圖說明

圖1為本發明的平面布置圖；

圖2為本發明的雙面毛刷臂的結構示意圖；

圖3為本發明的滾輪組清洗機構的結構示意圖。

其中：1為發片片盒；2為傳送帶I；3為預清洗單元；4為雙面毛刷臂；5為傳送帶II；6為滾輪組清洗機構；7為傳送帶III；8為快速烘干系統；9為晶片；10為收片片盒；11為毛刷；12為機械手；15為噴嘴I；16為正面毛刷；17為壓力調節桿I；18為皮帶I；19為皮帶輪I；20為皮帶輪II；21為皮帶II；22為皮帶輪III；23為噴嘴II；24為背面毛刷；25為壓力調節桿II；26為皮帶III；27為皮帶輪IV；28為電機；30為送片滾輪組；31為噴嘴III；32為噴嘴IV；33為主清洗滾輪組；34為收片滾輪組；35為噴嘴V。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明作進一步詳細描述。