[發(fā)明專(zhuān)利]檢查裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210454301.2
• 申請(qǐng)日: 2012-11-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103217559A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鷲尾賢一;長(zhǎng)谷川昌志
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 日本麥可羅尼克斯股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R1/073
• 分類(lèi)號(hào): G01R1/073
• 代理公司: 上海市華誠(chéng)律師事務(wù)所 31210
• 代理人: 徐曉靜

1.一種檢查裝置，其至少包括：具有分別與半導(dǎo)體晶片的每個(gè)檢查對(duì)象芯片對(duì)應(yīng)排列的、與各芯片的多個(gè)電極接觸的多個(gè)探針的探針卡；分別與該探針卡的上述各探針電連接、并將來(lái)自測(cè)試機(jī)的測(cè)試信號(hào)施加到上述各探針上的測(cè)試機(jī)頭，所述檢查裝置的特征在于，

分別與上述多個(gè)探針電連接的探針基板的多個(gè)測(cè)試區(qū)、和與各測(cè)試區(qū)對(duì)應(yīng)的上述測(cè)試機(jī)頭的測(cè)試機(jī)側(cè)的多個(gè)電連接部以構(gòu)成多個(gè)排列區(qū)域的狀態(tài)被排列，所述多個(gè)排列區(qū)域是以上述檢查對(duì)象芯片為單位地對(duì)應(yīng)地區(qū)分得到的，

探針基板的多個(gè)探針與以檢查對(duì)象芯片為單位設(shè)置在排列區(qū)域的、對(duì)應(yīng)的測(cè)試區(qū)連接。

2.如權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

測(cè)試機(jī)側(cè)與探針基板的連接為：上述檢查對(duì)象芯片的電極數(shù)量小于或等于上述測(cè)試機(jī)側(cè)的電連接部的數(shù)量時(shí)，上述檢查對(duì)象芯片與上述排列區(qū)域?yàn)橐粚?duì)一地對(duì)應(yīng)；上述檢查對(duì)象芯片的電極數(shù)量大于上述測(cè)試機(jī)側(cè)的電連接部的數(shù)量時(shí)，上述檢查對(duì)象芯片與上述排列區(qū)域以A對(duì)A＋α的方式對(duì)應(yīng)。

3.如權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

存在探針卡不能配置在配線(xiàn)區(qū)域的配線(xiàn)除外區(qū)域時(shí)，測(cè)試機(jī)側(cè)和探針基板的連接為：按檢查對(duì)象芯片為單位與設(shè)在上述配線(xiàn)除外區(qū)域的附近的配線(xiàn)區(qū)域的測(cè)試區(qū)連接。

4.如權(quán)利要求2所述的檢查裝置，其特征在于，

上述測(cè)試機(jī)側(cè)的電連接部由彈簧銷(xiāo)構(gòu)成。