[發明專利]自動晶元轉換機

有效

• 申請號: 201210451420.2
• 申請日: 2012-11-13
• 公開（公告）號: CN102915941A
• 公開（公告）日: 2013-02-06
• 發明（設計）人: 盧冬青
• 申請（專利權）人: 上海功源電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶元轉換機，包括：X/Y平臺；其特征在于包括：X軸向氣缸，Y軸向氣缸，鎖定氣缸及推手氣缸；所述的X軸向氣缸能帶動料盒X向移動；所述的Y軸向氣缸能帶動料盒Y向移動安裝在X軸向動作板上；所述的鎖定氣缸能在A、B兩料盒安放在特定位置后可以將兩料盒鎖緊以固定兩料盒，安裝在Y軸向動作板上；所述的推手氣缸能在X軸向上動作，安裝在Y軸向動作板上。

2.還包括：翻轉組件：其特征在于包括：翻轉機構、晶舟鎖定機構及導片手機構；所述的翻轉機構是一電機通過同步帶帶動晶舟安放面進行90度翻轉；所述的晶舟鎖定機構是在晶舟安放于特定位置后通過該機構將晶舟固定，安裝在翻轉面上；所述的導片手機構是在推料過程中保證晶元片導入相對應的晶舟位置內，垂直安裝在翻轉面下方；還包括觸摸屏組件：觸摸屏、控制按鈕及急停按鈕。

3.以上所述的X軸向氣缸、Y軸向氣缸、鎖定氣缸、翻轉機構、晶舟鎖定機構、導片手機構和觸摸屏組件分別與一PLC相連。