[發(fā)明專利]一種去除光阻殘留物的清洗液

在審

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• 申請日: 2012-11-12
• 公開（公告）號: CN103809393A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設計）人: 劉兵;彭洪修;孫廣勝;顏金荔;徐海玉
• 申請（專利權）人: 安集微電子科技（上海）有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 上海翰鴻律師事務所 31246
• 代理人: 李佳銘

技術領域

本發(fā)明涉及一種清洗液，更具體地說，涉及一種去除光阻殘留物的清洗液。

背景技術

在通常的LED和半導體制造工藝中，通過在一些材料的表面上形成光刻膠的掩膜，曝光后進行圖形轉移，在得到需要的圖形之后，進行下一道工序之前，需要剝去殘留的光刻膠。在這個過程中要求完全除去不需要的光刻膠，同時不能腐蝕任何基材。

目前，光刻膠清洗液主要由極性有機溶劑、強堿和/或水等組成，通過將半導體晶片浸入清洗液中或者利用清洗液沖洗半導體晶片，去除半導體晶片上的光刻膠。其中一類是含有水的光刻膠清洗液，其含水量一般大于5％；如JP1998239865公開了一種含水體系的清洗液，其組成是四甲基氫氧化銨（TMAH）、二甲基亞砜（DMSO）、1，3’-二甲基-2-咪唑烷酮（DMI）和水。將晶片浸入該清洗液中，于50～100℃下除去金屬和電介質基材上的20μm以上的光刻膠；其對半導體晶片基材的腐蝕略高，且不能完全去除半導體晶片上的光刻膠，清洗能力不足；又例如US5529887公開了由氫氧化鉀（KOH）、烷基二醇單烷基醚、水溶性氟化物和水等組成堿性清洗液，將晶片浸入該清洗液中，在40～90℃下除去金屬和電介質基材上的光刻膠。其對半導體晶片基材的腐蝕較高。在這類清洗液中由于含有游離的強堿性基團—OH，而且存在水，故其對金屬基材往往會造成一定的腐蝕。而另一類是基本上不含有水的光刻膠清洗液，其含水量一般小于5％，甚至基本上不含有水。如US5480585公開了一種含非水體系的清洗液，其組成是乙醇胺、環(huán)丁砜或二甲亞砜和鄰苯二酚，能在40～120℃下除去金屬和電介質基材上的光刻膠，對金屬基本無腐蝕。又例如US2005119142公開了一種含有烷氧基的聚合物、二丙二醇烷基醚、N-甲基吡咯烷酮和甲基異丁基酮的非水性清洗液。該清洗液可以同時適用于正性光刻膠和負性光刻膠的清洗。非水性光刻膠清洗液由于不含有水，其對金屬基材基本無腐蝕；但該類清洗液在操作體系中混有少量的水的時候，其金屬的腐蝕速率會顯著上升，從而導致金屬基材的腐蝕。故存在操作窗口較小的問題。

由此可見，尋找更為有效抑制金屬腐蝕抑制方法和較大操作窗口的光刻膠清洗液該類光刻膠清洗液努力改進的優(yōu)先方向。

發(fā)明內容

本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種用于去除光阻殘留物的清洗液及其組成。該清洗液在去除晶圓上的光阻殘留物同時，對于基材如金屬鋁、銀、銅、鈦、鎢和非金屬二氧化硅、氮化鎵等基本無腐蝕，同時對LED制成中Pad的清洗效果更好，在半導體及LED晶片清洗等領域具有良好的應用前景。

為了解決上述技術問題，本發(fā)明提供了一種新型清洗液，其含有醇胺，有機溶劑，沒食子酸及其酯以及3-氨基-1,2,4-三氮唑。

其中，醇胺的含量為5-50wt％(質量百分比)，優(yōu)選為10-45wt％。

其中，有機溶劑的含量為40-90wt％，優(yōu)選為50-85wt％

其中，沒食子酸及其酯的含量為0.05～5wt％，優(yōu)選為0.1-3wt％

其中，3-氨基-1，2,4-三氮唑的含量為0.01-5wt％，優(yōu)選為0.05-3wt％

上述含量均為質量百分比含量；且本發(fā)明所公開的去除光阻殘留物的清洗液中，優(yōu)選的，可不含有水、羥胺和/或氟化物。

本發(fā)明中，醇胺較佳的為單乙醇胺、N-甲基乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、異丙醇胺、乙基二乙醇胺、N，N-二乙基乙醇胺、N-(2-氨基乙基)乙醇胺和二甘醇胺。優(yōu)選單乙醇胺、二甘醇胺及其混合物。

本發(fā)明中，有機溶劑較佳的為亞砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、酰胺和醇醚中的一種或多種；亞砜較佳的為二甲基亞砜和甲乙基亞砜中的一種或多種；砜較佳的為甲基砜、環(huán)丁砜中的一種或多種；咪唑烷酮較佳的為2-咪唑烷酮和1，3-二甲基-2-咪唑烷酮中的一種或多種；吡咯烷酮較佳的為N-甲基吡咯烷酮、N-環(huán)己基吡咯烷酮和N-羥乙基吡咯烷酮中的一種或多種；咪唑啉酮較佳的為1，3-二甲基-2-咪唑啉酮酰胺較佳的為二甲基甲酰胺和二甲基乙酰胺中的一種或多種；醇醚較佳的為乙二醇烷基醚、丙二醇烷基醚中的一種或多種。乙二醇烷基醚較佳的為乙二醇單乙醚、二乙二醇單甲醚和二乙二醇單丁醚中的一種或多種；丙二醇烷基醚較佳的為丙二醇單甲醚、丙二醇單丁醚和二丙二醇單甲醚中的一種或多種。

本發(fā)明中，沒食子酸及其酯較佳的為沒食子酸、沒食子酸甲酯、沒食子酸乙酯、沒食子酸丁酯、沒食子酸辛酯、沒食子酸月桂酯、1-沒食子酸甘油酯中的一種或多種。