[發明專利]一種離子注入機工廠自動化控制方法

無效

• 申請號: 201210442534.0
• 申請日: 2012-11-08
• 公開（公告）號: CN103809530A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 余佳
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418;H04L29/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種半導體器件制造工廠自動化車間級控制方法。

背景技術

離子注入機是一種是集成電路制造前工序中的關鍵設備，離子注入是對半導體表面附近區域進行摻雜的技術，其目的是改變半導體的載流子濃度和導電類型的設備，離子注入機由離子源、均勻性控制系統、傳輸系統、靶室系統、真空系統和輔助系統等組成。此設備在高真空、高電壓等復雜環境下進行，在此背景下，對離子注入機設備的自動化控制尤其重要，以提高生產效能，減少人工數量，降低廠商成本。

發明內容

本發明是通過面向國際SEMI標準的工廠自動化設備控制方法，以提高生產效能，減少人工數量，降低廠商成本的設備遠程控制方法。

本發明通過以下技術方案實現：

1.本發明公開了一種離子注入機工廠自動化控制方法，包括：服務器(1)、工控機(2)、離子注入機臺(3)、工廠自動化控制計算機(4)、工廠自動化處理層(5)、通訊處理(6)、HOST(7)和控制邏輯處理(8)，其中服務器(1)與工控機(2)，服務器(1)與工廠自動化控制計算機(4)之間是通過TCP/IP協議進行通信，離子注入機設備(3)與服務器(1)和工控機(2)之間都是通過RS232串口或者TCP/IP網絡通訊；工廠自動化處理層(5)、通訊處理(6)和控制邏輯處理(8)是運行于服務器(1)上的軟件，HOST(7)為運行在工廠自動化控制計算機(4)的軟件。

2.如權利要求1所述的一種離子注入機工廠自動化控制方法，其特征在于：通過遠程的工廠自動化計算機(4)控制離子注入機臺(3)，以實現離子注入機的車間級管理。

3.如權利要求1所述的一種離子注入機工廠自動化控制方法，其特征在于：工廠自動化計算機(4)可以向不同的離子注入機臺(3)發出統一的、符合SEMI國際標準的操作指令。

4.如權利要求1所述的一種離子注入機工廠自動化控制方法，其特征在于：通過遠程的工廠自動化發出簡單的組合命令，離子注入機臺(3)完成一系列復雜的晶片離子注入操作。

本發明具有如下顯著優點：

1.軟件模塊間面向接口編程，各個功能快層次清晰，確保單個軟件故障不影響整個設備，故障診斷簡單。

2.控制邏輯層周期請求讀取離子注入機臺(3)數據，以保證工廠自動化遠程獲取設備實時數據，提高設備性能。如圖2

3.采用狀態機的編程模式，通過完善的流程和系統控制方法，在保證設備安全的前提下，提高了程序的執行速度，節約了時間，提高了效率。

4.采用國際半導體SEMI標準。如圖3，離子注入機臺(3)向工廠自動化控制計算機(4)發出S6F11命令(表示FOUP?Arrived信息)，工廠自動化控制計算機(4)返回S6F12命令，進行下一步操作，其中S6F11和S6F12是國際半導體SEMI標準指令。

附圖說明

圖1為離子注入工廠自動化的通信控制模式圖。

圖2為離子注入工廠自動化的軟件架構圖。

圖3為離子注入工廠自動化的控制流程圖。

具體實施方式

下面結合附圖1、附圖2和附圖3對本發明作進一步的介紹，但不作為對本發明的限定。

如圖1中所示，服務器(1)和工廠自動化控制計算機(4)采用TCP/IP網絡通訊，雙方基于異步通信，服務器(4)端接收和處理工廠自動化控制計算機(4)發出的命令，同時向工廠自動化控制計算機(4)反饋事件及相關參數；服務器(1)與離子注入機臺(3)不同子系統采用TCP/IP網絡或者RS232串口通訊，雙方基于異步通信方式，關鍵設備間都采用設備連鎖方法保護設備以避免用戶的誤操作；工控機(2)上運行著離子注入機臺(2)設備的嵌入式程序，工控機(2)與離子注入機臺(3)不同子設備采用TCP/IP網絡或者RS232串口通訊，工控機(2)實時采集設備數據；而服務器(1)與工控機(2)是通過TCP/IP網絡進行通信，服務器發出命令后，不能再次進行相應操作，等待命令反饋結果后，才能進行其他命令操作，這樣可以避免誤操作，對設備部件造成損壞，同時也是設備聯鎖機制的一部分，提高設備的穩定性。