[發(fā)明專利]一種離子注入機(jī)工廠自動(dòng)化控制方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210442534.0
• 申請(qǐng)日: 2012-11-08
• 公開（公告）號(hào): CN103809530A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 余佳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G05B19/418
• 分類號(hào): G05B19/418;H04L29/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.本發(fā)明公開了一種離子注入機(jī)工廠自動(dòng)化控制方法，包括：服務(wù)器(1)、工控機(jī)(2)、離子注入機(jī)臺(tái)(3)、工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)(4)、工廠自動(dòng)化處理層(5)、通訊處理(6)、HOST(7)和控制邏輯處理(8)，其中服務(wù)器(1)與工控機(jī)(2)，服務(wù)器(1)與工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)(4)之間是通過TCP/IP協(xié)議進(jìn)行通信，離子注入機(jī)設(shè)備(3)與服務(wù)器(1)和工控機(jī)(2)之間都是通過RS232串口或者TCP/IP網(wǎng)絡(luò)通訊；工廠自動(dòng)化處理層(5)、通訊處理(6)和控制邏輯處理(8)是運(yùn)行于服務(wù)器(1)上的軟件，HOST(7)為運(yùn)行在工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)(4)的軟件。

2.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)工廠自動(dòng)化控制方法，其特征在于：通過遠(yuǎn)程的工廠自動(dòng)化計(jì)算機(jī)(4)控制離子注入機(jī)臺(tái)(3)，以實(shí)現(xiàn)離子注入機(jī)的車間級(jí)管理。

3.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)工廠自動(dòng)化控制方法，其特征在于：工廠自動(dòng)化計(jì)算機(jī)(4)可以向不同的離子注入機(jī)臺(tái)發(fā)出統(tǒng)一的、符合SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)的操作指令。

4.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)工廠自動(dòng)化控制方法，其特征在于：通過遠(yuǎn)程的工廠自動(dòng)化發(fā)出簡(jiǎn)單的組合命令，離子注入機(jī)臺(tái)(3)完成一系列復(fù)雜的晶片離子注入操作。