[發明專利]有機發光顯示裝置及其制造方法有效
| 申請號: | 201210442419.3 | 申請日: | 2012-11-08 |
| 公開(公告)號: | CN103165527A | 公開(公告)日: | 2013-06-19 |
| 發明(設計)人: | 趙晟煥 | 申請(專利權)人: | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/77 | 分類號: | H01L21/77;H01L51/56;H01L27/32;H01L51/50 |
| 代理公司: | 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286 | 代理人: | 韓明星 |
| 地址: | 韓國京畿*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 有機 發光 顯示裝置 及其 制造 方法 | ||
本申請要求于在2011年12月19日在韓國知識產權局提交的第10-2011-0137408號韓國專利申請的優先權和權益,該韓國專利申請的公開通過引用其全部內容被包含于此。
技術領域
本發明涉及一種有機發光顯示裝置以及一種制造該有機發光顯示裝置的方法。
背景技術
通常,有機發光顯示裝置可以應用于移動設備(諸如數碼相機、攝影機、便攜式攝像機、便攜式信息終端、智能電話、超薄筆記本、臺式個人計算機以及柔性顯示設備)或者電子/電氣設備(諸如超薄電視機)的顯示裝置。
有機發光顯示裝置具有發射層(EML)置于陽極和陰極之間的堆疊結構。然而,通過所述結構難以獲得高效率的發射,因此,可以在陽極和陰極之間選擇性地插入諸如電子注入層(EIL)、電子傳輸層(ETL)、空穴傳輸層(HTL)以及空穴注入層(HIL)和/或類似的層的中間層,并且可以使用中間層。
通常,通過諸如噴嘴印刷方法、沉積方法等若干方法制造有機發光顯示裝置。例如,EML可以通過噴嘴印刷方法形成,中間層可以通過沉積方法形成。在利用沉積方法的情況下,用于中間層的溶劑,例如,用于HTL的溶液的溶劑,在沉積工藝中會溶解EML,從而會劣化界面特性。另外,通過利用噴嘴印刷方法和沉積方法二者,投入成本會增加,會需要用于設備的大的空間,并且會難以或者不能夠布置基于流水線的設備(in-1ine?basedequipment)。
發明內容
根據本發明的實施例提供一種有機發光顯示裝置以及一種制造該有機發光顯示裝置的方法,其中,利用靜電噴射方法通過溶解工藝制造有機發光顯示裝置的有機發光二極管(OLED)。
根據本發明的實施例的一方面,提供一種制造有機發光顯示裝置的方法,所述方法包括在基底上形成多個薄膜晶體管(TFT)并且形成多個有機發光二極管(OLED),每個OLED包括:第一電極,具有被位于薄膜晶體管上的像素限定層暴露的部分;有機層,位于第一電極的暴露的部分上并且包括被構造為發射具有多種顏色中的至少一種顏色的光的發射層(EML);第二電極,位于有機層上,其中,在多個子像素區域中的具有一種顏色的子像素區域和具有其他顏色的其他子像素區域中的每個子像素區域中形成EML,通過在PDL中形成開口來形成所述多個子像素區域,在所述具有一種顏色的子像素區域中形成與所述具有一種顏色的子像素區域連通的溶液供應單元,通過溶液供應單元向所述具有一種顏色的子像素區域和所述具有其他顏色的其他子像素區域供應用于多種顏色的發射層原料。
經由被通電的噴嘴單元可以將發射層原料中的至少一種噴射到溶液供應單元,發射層原料中的所述至少一種可以移動到與溶液供應單元連通的子像素區域,從而可以形成EML。
可以通過下述步驟形成EML:使發射層原料中的包括液體發射層原料的至少一種帶電;通過經由噴嘴單元噴射帶電的液體發射層原料來形成液滴,而后經由溶液供應單元形成EML。
使液體發射層原料帶電的步驟可以包括向液體發射層原料施加電勢差。
可以向噴嘴單元施加正電壓,從而液體發射層原料可以帶正電而后可以經由噴嘴單元噴射,基底可以電結合到地電壓源。
EML可以包括第一顏色發射層、第二顏色發射層和第三顏色發射層,第一顏色發射層可以形成在子像素區域的第一子像素區域中,第一子像素區域可以與第一子像素區域溶液供應單元連通,第二顏色發射層可以形成在子像素區域的第二子像素區域中,第二子像素區域可以與第二子像素區域溶液供應單元連通,第三顏色發射層可以形成在子像素區域的第三子像素區域中,處于液態并且帶電的第一顏色發射層原料和第二顏色發射層原料可以分別經由第一子像素區域溶液供應單元和第二子像素區域溶液供應單元噴射,由于斥力可以分別移動到第一子像素區域和第二子像素區域,而后可以分別形成第一顏色發射層和第二顏色發射層。
多個第一子像素區域、多個第二子像素區域和多個第三子像素區域可以沿基底的一個方向交替地形成,第一子像素區域溶液供應單元和第二子像素區域溶液供應單元可以形成在基底的側端上,所述多個第一子像素區域全部可以與第一子像素區域溶液供應單元連通,所述多個第二子像素區域全部可以與第二子像素區域溶液供應單元連通。
第一子像素區域溶液供應單元和第二子像素區域溶液供應單元可以沿基底的一個方向延伸,所述多個第一子像素區域和所述多個第二子像素區域可以分別沿與第一子像素區域溶液供應單元和第二子像素區域溶液供應單元交叉的方向形成。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





