[發(fā)明專利]有機(jī)發(fā)光顯示裝置及其制造方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201210442419.3 | 申請(qǐng)日: | 2012-11-08 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN103165527A | 公開(kāi)(公告)日: | 2013-06-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 趙晟煥 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 三星顯示有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L21/77 | 分類(lèi)號(hào): | H01L21/77;H01L51/56;H01L27/32;H01L51/50 |
| 代理公司: | 北京銘碩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286 | 代理人: | 韓明星 |
| 地址: | 韓國(guó)京畿*** | 國(guó)省代碼: | 韓國(guó);KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 有機(jī) 發(fā)光 顯示裝置 及其 制造 方法 | ||
1.一種制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法,所述方法包括下述步驟:
在基底上形成多個(gè)薄膜晶體管;以及
形成多個(gè)有機(jī)發(fā)光二極管,每個(gè)有機(jī)發(fā)光二極管包括:第一電極,具有被位于薄膜晶體管上的像素限定層暴露的部分;有機(jī)層,位于第一電極的暴露的部分上并且包括被構(gòu)造為發(fā)射具有多種顏色中的至少一種顏色的光的發(fā)射層;第二電極,位于有機(jī)層上,
其中,在多個(gè)子像素區(qū)域中的具有一種顏色的子像素區(qū)域和具有其他顏色的其他子像素區(qū)域中的每個(gè)子像素區(qū)域中形成發(fā)射層,通過(guò)在像素限定層中形成開(kāi)口來(lái)形成所述多個(gè)子像素區(qū)域,
在所述具有一種顏色的子像素區(qū)域中形成與所述具有一種顏色的子像素區(qū)域連通的溶液供應(yīng)單元,
通過(guò)溶液供應(yīng)單元向所述具有一種顏色的子像素區(qū)域和所述具有其他顏色的其他子像素區(qū)域供應(yīng)用于多種顏色的發(fā)射層原料,從而形成發(fā)射層。
2.如權(quán)利要求1所述的方法,其中,經(jīng)由被通電的噴嘴單元將發(fā)射層原料中的至少一種噴射到溶液供應(yīng)單元中,
發(fā)射層原料中的所述至少一種移動(dòng)到與溶液供應(yīng)單元連通的子像素區(qū)域,從而形成發(fā)射層。
3.如權(quán)利要求2所述的方法,其中,通過(guò)下述步驟形成發(fā)射層:
使發(fā)射層原料中的包括液體發(fā)射層原料的至少一種帶電;
通過(guò)經(jīng)由噴嘴單元噴射帶電的液體發(fā)射層原料來(lái)形成液滴,而后經(jīng)由溶液供應(yīng)單元形成發(fā)射層。
4.如權(quán)利要求3所述的方法,其中,使液體發(fā)射層原料帶電的步驟包括向液體發(fā)射層原料施加電勢(shì)差。
5.如權(quán)利要求4所述的方法,其中,向噴嘴單元施加正電壓,從而液體發(fā)射層原料帶正電而后經(jīng)由噴嘴單元噴射,
基底電結(jié)合到地電壓源。
6.如權(quán)利要求3所述的方法,其中,發(fā)射層包括第一顏色發(fā)射層、第二顏色發(fā)射層和第三顏色發(fā)射層,
第一顏色發(fā)射層形成在所述多個(gè)子像素區(qū)域中的第一子像素區(qū)域中,第一子像素區(qū)域與第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通,
第二顏色發(fā)射層形成在所述多個(gè)子像素區(qū)域中的第二子像素區(qū)域中,第二子像素區(qū)域與第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通,
第三顏色發(fā)射層形成在所述多個(gè)子像素區(qū)域中的第三子像素區(qū)域中,
所述多個(gè)發(fā)射層原料中的處于液態(tài)并且?guī)щ姷牡谝活伾l(fā)射層原料和第二顏色發(fā)射層原料分別經(jīng)由第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元和第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元噴射,由于斥力而分別移動(dòng)到第一子像素區(qū)域和第二子像素區(qū)域,然后分別形成第一顏色發(fā)射層和第二顏色發(fā)射層。
7.如權(quán)利要求6所述的方法,其中,所述多個(gè)子像素區(qū)域中的多個(gè)第一子像素區(qū)域、多個(gè)第二子像素區(qū)域和多個(gè)第三子像素區(qū)域沿基底的一個(gè)方向交替地形成,
第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元和第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元形成在基底的側(cè)端上,
所述多個(gè)第一子像素區(qū)域全部與第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通,
所述多個(gè)第二子像素區(qū)域全部與第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元連通。
8.如權(quán)利要求6所述的方法,其中,第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元和第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元沿基底的一個(gè)方向延伸,
所述多個(gè)第一子像素區(qū)域沿與第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元交叉的方向形成,所述多個(gè)第二子像素區(qū)域沿與第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元交叉的方向形成。
9.如權(quán)利要求6所述的方法,其中,噴射第一顏色發(fā)射層原料和第二顏色發(fā)射層原料的步驟包括:
使被通電的噴嘴單元固定;以及
沿一個(gè)方向移動(dòng)基底,并且同時(shí)經(jīng)由第一子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元和第二子像素區(qū)域溶液供應(yīng)單元分別噴射處于液態(tài)的第一顏色發(fā)射層原料和第二顏色發(fā)射層原料。
10.如權(quán)利要求6所述的方法,其中,所述多個(gè)發(fā)射層原料中的第三顏色發(fā)射層原料經(jīng)由噴嘴單元噴射在第三子像素區(qū)域上,從而在第三子像素區(qū)域中形成第三顏色發(fā)射層。
11.如權(quán)利要求10所述的方法,其中,噴射第三顏色發(fā)射層原料的步驟包括:
使基底固定;以及
沿基底的另一方向移動(dòng)噴嘴單元,并且同時(shí)在將要形成第三顏色發(fā)射層的第三子像素區(qū)域上噴射第三顏色發(fā)射層原料。
12.如權(quán)利要求6所述的方法,其中,第一顏色發(fā)射層包括紅色發(fā)射層,第二顏色發(fā)射層包括綠色發(fā)射層,第三顏色發(fā)射層包括藍(lán)色發(fā)射層。
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H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
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