[發(fā)明專利]液滴噴出頭的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210439841.3
• 申請日: 2012-11-06
• 公開（公告）號: CN103085481A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 二瓶靖和
• 申請（專利權(quán)）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: B41J2/16
• 分類號: B41J2/16
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 王靈菇;白麗

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及液滴噴出頭的制造方法，特別涉及在液滴噴出頭的噴嘴板表面上具有疏水膜的液滴噴出頭的制造方法。

背景技術(shù)

液滴噴出裝置例如在噴墨記錄裝置中使用的液滴噴出頭中，當(dāng)油墨附著在噴嘴板表面上時，從噴嘴噴出的油墨液滴會受到影響，有時會在油墨液滴的噴出方向上產(chǎn)生不均。當(dāng)油墨附著時，難以使油墨液滴擊中記錄介質(zhì)上的規(guī)定位置，成為圖像品質(zhì)變差的原因。

因此，為了防止油墨附著在噴嘴板表面上、提高噴出性能，在噴嘴板表面上形成疏水膜。通過在噴嘴板表面上形成疏水膜，在噴嘴部處形成了彎液面（meniscus）。如此在噴嘴部處形成的彎液面能夠防止用于使其從噴嘴噴出的液體（噴出液體）從噴嘴中溢出。當(dāng)在噴嘴板表面上沒有疏水膜時，噴出液體溢出至表面、無法控制正確的噴出體積和噴出方向。另外，通過在噴嘴板表面上形成疏水膜，還可以使紙粉等碎屑或異物、液體的干燥物等難以附著固化在噴嘴板表面上。當(dāng)噴嘴板表面上附著有液體時，會引起碎屑、異物或固化物等的附著。而且，噴嘴板表面通常會進(jìn)行定期維護(hù)的擦拭工作，在該擦拭時當(dāng)異物、固化物等附著在噴嘴內(nèi)時，會對噴出造成很大的障礙。

另一方面，在噴嘴板表面上形成該疏水膜的情況下，當(dāng)在噴嘴打開的狀態(tài)下形成疏水膜時，疏水膜也附著在噴嘴內(nèi)部。當(dāng)在噴嘴內(nèi)部形成疏水膜時，疏水膜形成在噴嘴內(nèi)部的彎液面位置甚至噴嘴深部。其結(jié)果，噴出體積或噴出方向有時變得不穩(wěn)定、引起不噴出。另外，當(dāng)在噴嘴內(nèi)部填充液體時，由于潤濕性差，因此易于卷入氣泡等。當(dāng)卷入氣泡時，則不僅該噴嘴易于變得不噴出、而且氣泡也在充填液體中搬運并轉(zhuǎn)移到其他噴嘴，從而對其他的噴嘴也造成影響。因此，關(guān)于將附著在噴嘴內(nèi)部的疏水膜除去的方法，探討了各種方法。

例如在下述的專利文獻(xiàn)1中，作為將環(huán)繞附著在噴嘴內(nèi)部的疏水膜除去的方法，記載了用彈性體或掩蔽材料對噴嘴面上進(jìn)行保護(hù)、利用等離子體將內(nèi)部疏水膜從噴嘴內(nèi)部側(cè)除去的方法。下述的專利文獻(xiàn)2中記載了在噴嘴板表面上形成疏液膜后，按照與噴嘴開口及其邊緣部不粘接的方式設(shè)置保護(hù)構(gòu)件，將疏液膜除去的方法。另外，下述的專利文獻(xiàn)3中記載了作為保護(hù)構(gòu)件使用感光性樹脂、利用等離子體將內(nèi)部疏水膜從噴嘴內(nèi)部側(cè)除去的方法。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2007－261070號公報

專利文獻(xiàn)2：日本特開2008－221653號公報

專利文獻(xiàn)3：日本專利第4374811號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明預(yù)解決的技術(shù)問題

專利文獻(xiàn)1~3所記載的方法由于使用保護(hù)構(gòu)件，因此其前提是在等離子體處理后必須將保護(hù)構(gòu)件除去。因此，保護(hù)構(gòu)件的除去性（操作性）和除去時的表面洗滌性變得很重要。為此，需要在保護(hù)構(gòu)件的剝離時進(jìn)行濕式處理和/或在剝離后進(jìn)行洗滌處理，但由于生產(chǎn)性工序增加，因此變得沒有效率。而且，濕式處理液浸入到噴嘴內(nèi)部，從噴嘴和內(nèi)部流路污染的觀點出發(fā)成為問題。

另外，就用于保護(hù)噴嘴板的保護(hù)膜而言，不僅粘合材料殘渣在噴嘴板表面上的附著成為重要因素，而且伴隨等離子體處理的等離子體處理產(chǎn)物在噴嘴板表面和噴嘴內(nèi)部的附著也成為重要因素。即，由于保護(hù)構(gòu)件（保護(hù)膜）的成分與等離子體的相互作用而飛散的污染物附著在噴嘴內(nèi)部、噴出液體成分優(yōu)先附著固化在該污染物所附著的部分上，因此噴出體積、方向性隨著時間變化，穩(wěn)定噴出控制變得困難。

本發(fā)明是鑒于這種情況而完成的，本發(fā)明的目的在于提供利用簡便工藝工序?qū)崿F(xiàn)成本降低、同時能夠長期獲得噴出可靠性的液滴噴出頭的制造方法。

用于解決技術(shù)問題的方法

本發(fā)明為了達(dá)成上述目的，提供一種保護(hù)膜的粘合成分和基材中不含聚硅氧烷的液滴噴出頭的制造方法，其包含以下工序：在具有噴嘴孔的噴嘴形成基板的表面和噴嘴孔的側(cè)壁上形成疏水膜的疏水膜形成工序；在形成于噴嘴形成基板的表面的疏水膜的表面上粘貼保護(hù)膜的保護(hù)膜粘貼工序；利用等離子體處理將形成于噴嘴孔側(cè)壁的疏水膜除去的等離子體照射工序；和，將保護(hù)膜剝離的保護(hù)膜剝離工序。

本發(fā)明人等發(fā)現(xiàn)，使疏水膜的疏水性降低并在噴出性能的長期可靠性中對不穩(wěn)定化造成嚴(yán)重影響的因素是為了除去噴嘴孔內(nèi)部的疏水膜所粘貼的保護(hù)膜中所含的作為脫模劑成分的聚硅氧烷。脫模材料成分是在除去了噴嘴孔內(nèi)部的疏水膜后，為了將保護(hù)膜剝離而添加的。

根據(jù)本發(fā)明，由于使用不含聚硅氧烷的保護(hù)膜，因此能夠防止聚硅氧烷附著于疏水膜的表面。

聚硅氧烷由于促進(jìn)油墨的顏料成分附著、固化，因此通過使用在保護(hù)膜中不含聚硅氧烷的膜，能夠維持疏水膜的疏水性。因此，能夠獲得長期的噴出可靠性。