[發(fā)明專利]片盒傾斜及歸位裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210439420.0
• 申請日: 2012-11-06
• 公開（公告）號: CN103811384A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 童宇波
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種片盒傾斜及歸位裝置，其特征在于：包括片盒(3)、片盒底板(2)、片盒底托架(1)及運動機構(gòu)，其中片盒(3)安裝在片盒底板(2)上，所述片盒底板(2)的前端與片盒底托架(1)鉸接，后端的下方設(shè)有定位槽，片盒底板(2)在該定位槽處連接有使片盒底板(2)的后端以前端為旋轉(zhuǎn)軸擺動的運動機構(gòu)。

2.按權(quán)利要求1所述的片盒傾斜及歸位裝置，其特征在于：所述片盒底板(2)后端下方的定位槽沿晶圓插入方向開設(shè)、并由淺到深。

3.按權(quán)利要求2所述的片盒傾斜及歸位裝置，其特征在于：所述運動機構(gòu)包括氣缸(13)、導(dǎo)向塊(14)及安裝支架(15)，其中導(dǎo)向塊(14)與氣缸(13)的活塞桿連接，所述氣缸(14)通過安裝支架(15)安裝在片盒底托架(1)上、并位于片盒底板(2)的下方，所述導(dǎo)向塊(14)與片盒底板(2)后端的定位槽抵接、并通過氣缸(13)的驅(qū)動在定位槽內(nèi)水平方向往復(fù)移動。

4.按權(quán)利要求3所述的片盒傾斜及歸位裝置，其特征在于：所述氣缸(13)與用來調(diào)節(jié)氣缸活塞運行速度的調(diào)速閥(11)連接。

5.按權(quán)利要求3所述的片盒傾斜及歸位裝置，其特征在于：所述片盒底板(2)的下方連接有襯板(12)。

6.按權(quán)利要求3所述的片盒傾斜及歸位裝置，其特征在于：所述導(dǎo)向塊(14)位于定位槽前端(16)時，片盒底板(2)處于歸位狀態(tài)；所述導(dǎo)向塊(14)位于定位槽后端(17)時，片盒底板(2)處于傾斜狀態(tài)。

7.按權(quán)利要求1所述的片盒傾斜及歸位裝置，其特征在于：所述片盒(3)通過四個固定塊安裝在片盒底板(2)上。

8.按權(quán)利要求1或2所述的片盒傾斜及歸位裝置，其特征在于：所述片盒底板(2)的前端通過兩個鉸鏈與片盒底托架(1)連接。