[發明專利]無擴散泵式復合膜鍍膜機

有效

• 申請號: 201210437315.3
• 申請日: 2012-11-06
• 公開（公告）號: CN102994957A
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 陳生販;陳顯東;江裕捺;陳生鎮;陳發杰
• 申請（專利權）人: 上海宏昊企業發展有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 何新平

技術領域

本發明涉及加熱技術領域，具體涉及一種真空鍍膜機。?

背景技術

在卷繞式真空鍍膜機中，裝有送料輥、冷卻滾筒，以及展平輥。送料輥上裝有基體膜卷。基體膜卷上的基體膜依次繞過冷卻滾筒、展平輥。通過展平輥對基體膜進行展平，在展平后對通過蒸發源將金屬蒸汽蒸到基體膜上，完成鍍膜操作。?

在鍍膜工作中至少有送料輥、冷卻滾筒、展平輥，三個旋轉部件需要精確配合工作。因為基體膜非常薄，非常脆弱，在這些旋轉部件進料速度出現差池后，很容易造成基體膜撕裂的故障。要精確控制三個部件的進料速度完全同步非常困難，需要復雜的機械機構，以及自動化系統進行支持，會帶來成本高。?

另外傳統的真空鍍膜機，采用的真空泵都是擴散泵。擴散泵存在耗能高、啟動時間長、抽真空效果差等問題。擴散泵所消耗的能耗，已經占據了整個真空鍍膜機的能耗的一大部分。?

在鍍膜工作中至少有送料輥、冷卻滾筒、展平輥，三個旋轉部件需要精確配合工作。因為基體膜非常薄，非常脆弱，在這些旋轉部件進料速度出現差池后，很容易造成基體膜撕裂的故障。?

要精確控制三個部件的進料速度完全同步非常困難，需要復雜的機械機構，以及自動化系統進行支持，會帶來成本高。?

發明內容

本發明的目的在于，提供一種無擴散泵式復合膜鍍膜機，以解決上述技術問題。?

本發明所解決的技術問題可以采用以下技術方案來實現：?

無擴散泵式復合膜鍍膜機，包括抽真空系統、鍍膜室，所述抽真空系統連接所述鍍膜室為所述鍍膜室抽取真空，其特征在于：所述抽真空系統中設有真空泵系統，所述真空泵采用羅茨泵系統。?

羅茨泵相對于傳統的擴散泵，具有能耗低、性能穩定、抽真空效果好、即時啟動等優點。有助于提高整個無擴散泵式復合膜鍍膜機的性能穩定性，并提高鍍膜質量，以及大大降低能耗。?

所述羅茨泵系統采用高真空多級羅茨泵系統，所述高真空多級羅茨泵系統由至少兩臺羅茨泵單體逐級連接構成；?

所述羅茨泵單體包括一羅茨泵主體，所述羅茨泵主體設有一進氣口，以及一出氣口，所述羅茨泵主體包括一羅茨泵腔，所述羅茨泵腔底部設有一底座，所述進氣口和所述出氣口分別設置在所述羅茨泵腔兩側。?

原有的羅茨泵單體的進氣口和出氣口都是分別設置在上方和下方。在將多個羅茨泵單體組合成高真空多級羅茨泵時，因為受到高度限制，只能是將多個羅茨泵單體水平放置。多個水平放置的羅茨泵單體連接過程中需要用到大量連接管路以及轉彎接頭。連接管路和轉彎接頭造成系統復雜化，同時會為空氣流動造成阻力，影響抽真空效果。?

本發明將進氣口和出氣口設置在兩側，各個羅茨泵單體間可以較為直接的進行多級連接，省去大量連接管路和轉彎接頭，進而簡化系統，降低空氣流通阻力，提高抽真空效果。?

所述進氣口設有鎖緊接頭，所述出氣口設有與所述鎖緊接頭配套的鎖緊接口。?

組合成高真空多級羅茨泵過程中，在連接多個羅茨泵主體時，可以直接將上級羅茨泵主體的所述出氣口上的所述鎖緊接口，連接次級羅茨泵主體的所述進氣口的所述鎖緊接頭。從而直接省略連接管路，進一步簡化結構，降低空氣流通阻力，和提供抽真空效果。?

所述鎖緊接頭與所述鎖緊接口距離所述底座的底部的高度相等。以便于在平整的底面上直接對接安裝。?

所述羅茨泵主體還包括一提供動力的電機，所述電機設有電機外殼，所述電機外殼為密封腔體結構，所述電機外殼與所述羅茨泵腔聯通。?

因為將電機封存在所述電機外殼內，而所述電機外殼與所述述羅茨泵腔?聯通，所以可以省去電機轉軸與羅茨泵主體內的轉子連接時使用的密封系統，并提高系統可靠性，以及提供工作效率。但是這會使電機處于真空狀態下運行。所以需要使用真空電機。?

所述電機采用一水冷式真空密封電機，所述水冷式真空密封電機包括轉子和定子，所述定子上設有由導線繞制而成的定子線圈，所述導線外套有塑料套管。通過塑料套管將導線密封，進而實現與外部的絕緣，杜絕因為電離離子或者導電粒子的存在造成短路燒毀電機的風險。?

所述轉子上設有有導線繞制而成的轉子線圈，繞制所述轉子線圈的導線外套有塑料套管。?

也可以，所述轉子采用永磁轉子。水冷式真空密封電機構成永磁電機結構，以節省能源，并減小提交。?

還包括一水冷系統，所述水冷系統包括一水循環系統和一驅動水循環的驅動系統，所述水循環系統包括一散熱管，所述散熱管繞制在所述定子上。?