[發明專利]無擴散泵式復合膜鍍膜機

有效

• 申請號: 201210437315.3
• 申請日: 2012-11-06
• 公開（公告）號: CN102994957A
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 陳生販;陳顯東;江裕捺;陳生鎮;陳發杰
• 申請（專利權）人: 上海宏昊企業發展有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 何新平

1.無擴散泵式復合膜鍍膜機，包括抽真空系統、鍍膜室，所述抽真空系統連接所述鍍膜室為所述鍍膜室抽取真空，其特征在于：所述抽真空系統中設有真空泵系統，所述真空泵采用羅茨泵系統。

2.根據權利要求1所述的無擴散泵式復合膜鍍膜機，其特征在于，所述羅茨泵系統采用高真空多級羅茨泵系統，所述高真空多級羅茨泵系統由至少兩臺羅茨泵單體逐級連接構成；

所述羅茨泵單體包括一羅茨泵主體，所述羅茨泵主體設有一進氣口，以及一出氣口，所述羅茨泵主體包括一羅茨泵腔，所述羅茨泵腔底部設有一底座，所述進氣口和所述出氣口分別設置在所述羅茨泵腔兩側。

3.根據權利要求2所述的無擴散泵式復合膜鍍膜機，其特征在于，

所述羅茨泵主體還包括一提供動力的電機，所述電機設有電機外殼，所述電機外殼為密封腔體結構，所述電機外殼與所述羅茨泵腔聯通；

所述電機采用一水冷式真空密封電機，所述水冷式真空密封電機包括轉子和定子，所述定子上設有由導線繞制而成的定子線圈，所述導線外套有塑料套管；

還包括一水冷系統，所述水冷系統包括一水循環系統和一驅動水循環的驅動系統，所述水循環系統包括一散熱管，所述散熱管繞制在所述定子上。

4.根據權利要求1所述的無擴散泵式復合膜鍍膜機，其特征在于，所述鍍膜室內設有高低可調節蒸發箱系統，所述高低可調節蒸發箱系統內設有作為蒸發源的蒸發箱，所述蒸發箱設置在一蒸發箱支架上，所述蒸發箱通過一升降機構連接所述蒸發箱支架。

5.根據權利要求1所述的無擴散泵式復合膜鍍膜機，其特征在于，所述鍍膜室內設有送料輥、冷卻滾筒、展平輥，所述展平輥采用滑差式展平輥，所述滑差式展平輥包括一展平輥輥體，所述展平輥輥體連接轉軸，

所述展平輥輥體包括一輥筒、一輥芯，所述輥筒為筒狀，所述輥芯為管狀；所述輥筒套接在所述輥芯外，構成滑動連接；

所述轉軸連接到所述輥芯上；

所述輥筒套接在所述輥芯外，并在所述輥筒套接與所述輥芯之間填充阻尼油。

6.根據權利要求5所述的無擴散泵式復合膜鍍膜機，其特征在于，所述冷卻滾筒采用伸縮冷卻滾筒，包括一輥筒套、一冷卻滾筒芯，所述輥筒套在所述冷卻滾筒芯外，所述輥筒套為筒狀，所述冷卻滾筒芯為管狀；所述輥筒套接在所述輥芯外；

還包括一冷卻液輸送管路，所述冷卻液輸送管路呈螺旋狀繞制在所述冷卻滾筒芯外側。

7.根據權利要求4所述的無擴散泵式復合膜鍍膜機，其特征在于，所述蒸發箱上排列有至少兩個蒸發舟，所述蒸發箱上方為長方形結構，所述蒸發舟設有長方形開口；

至少兩個所述蒸發舟在所述蒸發箱上方的長方形結構中斜向平行排布。

8.根據權利要求6所述的無擴散泵式復合膜鍍膜機，其特征在于，所述展平輥采用熱漲式鋁導輥，包括一鋁導輥基體，所述鋁導輥基體外附著有一鐵質層，所述鐵質層外鍍有硬質金屬層。

9.根據權利要求8所述的無擴散泵式復合膜鍍膜機，其特征在于，所述硬質金屬層為鎳層。

10.根據權利要求8所述的無擴散泵式復合膜鍍膜機，其特征在于，所述硬質金屬層為鈦層。