[發明專利]一種有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法

有效

• 申請號: 201210435207.2
• 申請日: 2012-11-02
• 公開（公告）號: CN102945030A
• 公開（公告）日: 2013-02-27
• 發明（設計）人: 嚴麗輝;趙偉;柯陳賓
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 竺路玲

技術領域

本發明涉及半導體制造領域，尤其涉及一種有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法。

背景技術

目前，在工廠實現大規模量產后，其產品的生產周期均是由人工控制，即當發現某lot的準時交貨時間有問題時，只能通過人工方式改變該lot的優先權，以使得該lot能夠準時交貨；但由于是人工控制，而且都是當lot的交貨時間可能滯后才對lot的優先級進行調控，很容易由于調控不當或時間緊迫，需要付出成倍的人力和產能才能準時交貨，甚至有些lot的生產周期失控根本就無法趕上交貨時間，從而嚴重影響準時交貨率。

圖1是本發明背景技術中由于生產周期失控造成不良影響的示意圖；如圖1所示，當客戶將大量訂單交付給工廠后，由于線上產品多且復雜，人工調控不當易造成生產周期的失控，進而影響產品的準時交貨率，最終造成客戶滿意度的降低而喪失訂單，使得工廠蒙受巨大的損失；如某一lot的優先級是4，但由于在某個站點進程（process）問題被耽擱（hold）兩天，當恢復進程（release）后沒有被注意到，勢必會影響該lot的準時交貨率。

圖2是本發明背景技術中采用人工控制的產品生產周期的正態分布圖，縱軸表示lot數量比例，橫軸表示生產周期（單位為天/光罩層）；如圖2所示，方框a中的曲線表示生產周期超速部分，會造成產能的浪費，而方框b中的曲線則表示生產周期較差，即生產周期失控部分，失控的異常值會大大影響產品的準時交貨率；所以，要想控制生產周期的失控及產能的浪費，要將方框a和b中的曲線想中間部分收斂才行。

發明內容

針對上述存在的問題，本發明揭示了一種有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法（A?effective?Fab?cycle?time?control?method），主要是通過自動設定并及時更新每個lot的緊迫系數，自動調控站點上每個lot的優先級。??

本發明的目的是通過下述技術方案實現的：

本發明一種有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，

于一站點上，對已送達的所有lot進行組別劃分；

確認每個lot的交貨期；

計算每個lot的緊迫性系數；

根據所述緊迫性系數重新賦予上述每個lot的優先級；

根據優先級依次對每個lot進行該站點的制程工藝。

上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，進行所述組別劃分時去除緊急批次的lot和異常的lot，緊急批次的lot先于設定有優先級的lot進行該站點的制程工藝。

上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，所述異常的lot包括緩存批次lot，有劃痕的lot和刻意減緩進度的lot。

上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，所述每個lot的交貨期采用公式D=D₁+Z+N進行確定，D為lot的交貨期，D₁為lot的下線日期，Z為lot承諾的生產周期，N為緩存天數。

上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，采用公式C=（D-D₂）/（S-X）計算每個lot的緊迫性系數，C為lot的緊迫性系數，D為lot的交貨期，D₂為當前日期，S為lot的制程總站點數，X為lot已完成站點數。

上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，lot的優先級級別數與該lot的緊迫性系數成反比。

上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，每隔一定時間后，重復上述步驟以重新確定該站點送達的每個lot的優先級。

上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，每隔12個小時，重復重新確定該站點送達的每個lot的優先級一次。

上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，根據所述緊迫性系數可賦予上述lot為緊急批次。

上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，根據所述緊迫性系數賦予上述lot為緊急批次時，交貨期小于或等于當前日期的值。

上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，通過如計算機等自動控制裝置實現每個站點上各個lot優先級的重新賦予及更新，以實現對產品生產周期自動優化處理的目的。