[發明專利]一種有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法有效
| 申請號： | 201210435207.2 | 申請日： | 2012-11-02 |
| 公開（公告）號： | CN102945030A | 公開（公告）日： | 2013-02-27 |
| 發明（設計）人： | 嚴麗輝;趙偉;柯陳賓 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G05B19/418 | 分類號： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 有效 控制 生產過程 生產 周期 失控 方法 | ||
1.一種有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其特征在于，
于一站點上，對已送達的所有lot進行組別劃分；
確認每個lot的交貨期；
計算每個lot的緊迫性系數；
根據所述緊迫性系數重新賦予上述每個lot的優先級；
根據優先級依次對每個lot進行該站點的制程工藝。
2.根據權利要求1所述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其特征在于，進行所述組別劃分時去除緊急批次的lot和異常的lot，緊急批次的lot先于設定有優先級的lot進行該站點的制程工藝。
3.根據權利要求2所述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其特征在于，所述異常的lot包括緩存批次lot，有劃痕的lot和刻意減緩進度的lot。
4.根據權利要求1所述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其特征在于，所述每個lot的交貨期采用公式D=D1+Z+N進行確定，D為lot的交貨期，D1為lot的下線日期，Z為lot承諾的生產周期，N為緩存天數。
5.根據權利要求1所述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其特征在于，采用公式C=（D-D2）/（S-X）計算每個lot的緊迫性系數，C為lot的緊迫性系數，D為lot的交貨期，D2為當前日期，S為lot的制程總站點數，X為lot已完成站點數。
6.根據權利要求1所述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其特征在于，lot的優先級級別數與該lot的緊迫性系數成反比。
7.根據權利要求1-6任意一項所述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其特征在于，每隔一定時間后，重復上述步驟以重新確定該站點送達的每個lot的優先級。
8.根據權利要求7所述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其特征在于，每隔12個小時，重復重新確定該站點送達的每個lot的優先級一次。
9.根據權利要求7所述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其特征在于，根據所述緊迫性系數可賦予上述lot為緊急批次。
10.根據權利要求8所述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其特征在于，根據所述緊迫性系數賦予上述lot為緊急批次時，交貨期小于或等于當前日期值。
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