[發(fā)明專(zhuān)利]一種接近式光刻機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210434929.6
• 申請(qǐng)日: 2012-11-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103792794A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李會(huì)麗;張俊;聞人青青;李志丹
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種接近式光刻機(jī)，其特征在于，包括：

光學(xué)系統(tǒng)，支架監(jiān)測(cè)裝置、載臺(tái)和掩膜臺(tái)；其中，

所述支架監(jiān)測(cè)裝置安裝在非生產(chǎn)狀態(tài)下的所述載臺(tái)的原位區(qū)的上方，用于對(duì)掩膜臺(tái)和/或載臺(tái)進(jìn)行檢查；

所述掩膜臺(tái)在所述載臺(tái)上方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接近式光刻機(jī)，其特征在于，所述接近式光刻機(jī)與在線檢查機(jī)聯(lián)機(jī)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接近式光刻機(jī)，其特征在于，所述支架監(jiān)測(cè)裝置具有升降和/或在90度范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)的能力。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接近式光刻機(jī)，其特征在于，所述支架監(jiān)測(cè)裝置上設(shè)有升降桿，所述升降桿用于升降所述支架監(jiān)測(cè)裝置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的接近式光刻機(jī)，其特征在于，所述支架監(jiān)測(cè)裝置包括：

掃描拍照裝置，用于掃描缺陷可疑位置并進(jìn)行拍照比對(duì)；

三維支架導(dǎo)桿裝置，包括X、Y、Z三個(gè)方向的支架導(dǎo)桿，用于攜帶所述掃描拍照裝置；及

夾子，用于夾持掩膜。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的接近式光刻機(jī)，其特征在于，所述掃描拍照裝置按所述Z方向在180度范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的接近式光刻機(jī)，其特征在于，所述掃描拍照裝置的光源為L(zhǎng)ED光源。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的接近式光刻機(jī)，其特征在于，所述夾子包含真空吸附孔和有機(jī)材質(zhì)。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的接近式光刻機(jī)，其特征在于，所述掃描拍照裝置和三維支架導(dǎo)桿裝置包含雙面結(jié)構(gòu)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接近式光刻機(jī)，其特征在于，所述接近式光刻機(jī)的光源為汞燈源。