[發明專利]一種接近式光刻機有效
| 申請號： | 201210434929.6 | 申請日： | 2012-11-02 |
| 公開（公告）號： | CN103792794A | 公開（公告）日： | 2014-05-14 |
| 發明（設計）人： | 李會麗;張俊;聞人青青;李志丹 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 接近 光刻 | ||
1.一種接近式光刻機，其特征在于，包括：
光學系統，支架監測裝置、載臺和掩膜臺；其中，
所述支架監測裝置安裝在非生產狀態下的所述載臺的原位區的上方，用于對掩膜臺和/或載臺進行檢查；
所述掩膜臺在所述載臺上方。
2.根據權利要求1所述的接近式光刻機，其特征在于，所述接近式光刻機與在線檢查機聯機。
3.根據權利要求1所述的接近式光刻機，其特征在于，所述支架監測裝置具有升降和/或在90度范圍內旋轉的能力。
4.根據權利要求1所述的接近式光刻機，其特征在于，所述支架監測裝置上設有升降桿，所述升降桿用于升降所述支架監測裝置。
5.根據權利要求4所述的接近式光刻機，其特征在于，所述支架監測裝置包括：
掃描拍照裝置，用于掃描缺陷可疑位置并進行拍照比對；
三維支架導桿裝置，包括X、Y、Z三個方向的支架導桿，用于攜帶所述掃描拍照裝置；及
夾子，用于夾持掩膜。
6.根據權利要求5所述的接近式光刻機，其特征在于，所述掃描拍照裝置按所述Z方向在180度范圍內旋轉。
7.根據權利要求5所述的接近式光刻機，其特征在于，所述掃描拍照裝置的光源為LED光源。
8.根據權利要求5所述的接近式光刻機，其特征在于，所述夾子包含真空吸附孔和有機材質。
9.根據權利要求5所述的接近式光刻機，其特征在于，所述掃描拍照裝置和三維支架導桿裝置包含雙面結構。
10.根據權利要求1所述的接近式光刻機，其特征在于，所述接近式光刻機的光源為汞燈源。
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