[發(fā)明專利]水蒸氣測量裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210434516.8
• 申請日: 2012-11-05
• 公開（公告）號: CN102980936A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張進偉;鄭利武;張飛;陳生龍;顧海濤
• 申請（專利權(quán)）人: 聚光科技(杭州)股份有限公司
• 主分類號: G01N27/62
• 分類號: G01N27/62
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及氣體測量，特別涉及水蒸氣測量裝置及方法。

背景技術(shù)

在部分工業(yè)過程氣體檢測中，需要測量混合氣體中的水蒸氣含量。目前，質(zhì)譜儀在測量碎片系數(shù)及建模過程中，由于無法獲得有效的水蒸氣標氣而無法建立有效的水蒸氣定量模型。如下表格給出了為創(chuàng)建定量曲線的界面。

步驟名稱O₂(I₁₆)H₂O(I₁₈)N₂(I₂₈)CO₂I₄₄1背景信號10.00000e00.00000e00.00000e00.00000e02碎片(H₂O)0.1100001.000000003碎片(CO₂)0.09000000.1100001.0000004標氣10.00000e00.00000e00.00000e00.00000e0

表格1中各行信息解釋如下：第1行中顯示的是個離子的背景(噪聲信號)信號，儀器在通入背景氣(如Ar)時測量此信號。第2行和第3行為離子碎片行，分別顯示H₂O和CO₂碎片離子信號，在儀器分別通入純的H₂O，和CO₂時測量，測量碎片離子信號用于計算碎片系數(shù)。第4行為標氣行，通入包含所有被測氣體的一瓶混合標氣時測得各定量離子信號強度，保存于矩陣中，用于計算相對校準因子RS。

上述技術(shù)方案存在的主要不足為：

1、水的標氣不好獲取，無法建立水的碎片離子系數(shù)，無法有效扣除水蒸氣交叉干擾。

2、混合標氣中無法準確配入水蒸氣做混標，不能建立有效的水蒸氣定量模型。

3、由于質(zhì)譜儀采用的是內(nèi)部歸一法，如果不能測量水蒸氣，則導致被測樣氣中水蒸氣濃度值被等比例均攤到其他組分，影響測量準確性。