[發(fā)明專利]水蒸氣測量裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210434516.8
• 申請日: 2012-11-05
• 公開（公告）號: CN102980936A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張進(jìn)偉;鄭利武;張飛;陳生龍;顧海濤
• 申請（專利權(quán)）人: 聚光科技(杭州)股份有限公司
• 主分類號: G01N27/62
• 分類號: G01N27/62
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種水蒸氣的測量裝置，包括質(zhì)譜儀，所述測量裝置還包括：

第一氣體氣源，所述第一氣體氣源連通質(zhì)譜儀；

第二氣體氣源，所述第二氣體氣源連通儲水容器內(nèi)部及所述質(zhì)譜儀；

儲水容器，所述儲水容器具有進(jìn)口和出口，所述進(jìn)口連通所述第二氣體氣源，所述出口連通所述質(zhì)譜儀；

第一計算模塊，所述第一計算模塊用于根據(jù)所述質(zhì)譜儀傳送來的對應(yīng)于第二氣體的離子信號強(qiáng)度得出水蒸氣濃度；

模型建立模塊，所述模型建立模塊用于根據(jù)第一計算模塊得出的水蒸氣濃度、質(zhì)譜儀傳送來的對應(yīng)于水蒸氣的離子信號強(qiáng)度得出水蒸氣濃度的測量模型；

第二計算模塊，所述第二計算模塊用于根據(jù)質(zhì)譜儀傳送來的對應(yīng)于待測水蒸氣的離子信號強(qiáng)度、所述測量模型得出待測水蒸氣的濃度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于：所述測量裝置進(jìn)一步包括：

伴熱模塊，所述伴熱模塊設(shè)置在所述儲水容器和質(zhì)譜儀之間的管道上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于：所述第一氣體和/或第二氣體中的水蒸氣的濃度低于0.01％。

4.一種水蒸氣測量方法，所述測量方法包括以下步驟：

(A1)將第一氣體、第二氣體分別通入質(zhì)譜儀中，分別獲取對應(yīng)于第二氣體的離子信號強(qiáng)度I₀、I₁；

(A2)所述第二氣體攜帶著水蒸氣進(jìn)入所述質(zhì)譜儀中，獲取對應(yīng)于所述第二氣體的離子信號強(qiáng)度I₂、對應(yīng)于水蒸氣的離子信號強(qiáng)度以及對應(yīng)于水蒸氣的碎片離子信號強(qiáng)度的碎片系數(shù)；

計算出所述水蒸氣的濃度：

(A3)利用所述碎片系數(shù)建立水蒸氣濃度測量模型；

(A4)利用所述測量模型處理所述質(zhì)譜儀測得的對應(yīng)于待測水蒸氣的離子信號強(qiáng)度，從而獲知待測水蒸氣的濃度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測量方法，其特征在于：在所述步驟(A1)中，還獲取第一氣體或第二氣體中對應(yīng)于水蒸氣的離子信號強(qiáng)度

(A3)利用所述碎片系數(shù)建立水蒸氣濃度測量模型。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的測量方法，其特征在于：在所述步驟(A1)和/或步驟(A2)中，計算在若干時間內(nèi)測得的所有的離子信號強(qiáng)度I的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD值，若所述RSD值小于閾值，記錄并保存I。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測量方法，其特征在于：所述若干時間處于通氣的最后階段。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測量方法，其特征在于：所述若干時間不小于1分鐘，所述閾值不大于3％。

9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測量方法，其特征在于：在所述步驟(A2)中，所述第二氣體被通入水中，從而使得第二氣體攜帶水蒸氣。

10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測量方法，其特征在于：在所述步驟(A1)中，所述第一氣體和/或第二氣體中的水蒸氣的濃度低于0.01％。