[發明專利]晶圓測試數據處理方法及其系統

在審

• 申請號: 201210433640.2
• 申請日: 2012-11-01
• 公開（公告）號: CN103793437A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 許文慧;連曉謙
• 申請（專利權）人: 無錫華潤上華科技有限公司
• 主分類號: G06F17/30
• 分類號: G06F17/30
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 常亮

技術領域

本發明涉及半導體測試技術領域，特別是涉及一種晶圓測試數據處理方法及其系統。

背景技術

現有技術中的晶圓測試數據是一行一行逐行進行排列的，只需要采用文本讀取方式對下面格式來進行順序的讀取并存儲數據。目前對數據的讀取僅限在Lucent測試系統上，WINDOWS系統尚無高效的讀取方式，數據量大時，讀取很慢。就當前情形，對數據分析非常不利。現有的技術可以對上述的格式進行數據的讀取，但是特殊格式還不能實現，所以改變現狀刻不容緩。類文本格式的數據是由UNIX環境Lucent測試系統在測試時自動生成的，也是測試系統自帶的功能，并不能滿足日益增長的多系統多數據源共享的需要。

可擴展標記語言(Extensible?Markup?Language，XML)，用于標記電子文件使其具有結構性的標記語言，可以用來標記數據、定義數據類型，是一種允許用戶對自己的標記語言進行定義的源語言，XML是標準通用標記語言(SGML)的子集，非常適合Web傳輸，且XML可以提供統一的方法來描述和交換獨立于應用程序或供應商的結構化數據。

因此，針對上述技術問題，有必要提供一種晶圓測試數據處理方法及其系統。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的在于提供一種晶圓測試數據處理方法及其系統，其可以實現測試數據的格式轉換。

為了實現上述目的，本發明實施例提供的技術方案如下：

一種晶圓測試數據處理方法，所述方法包括以下步驟：

S1、機臺對晶圓依次進行測試，獲取類文本格式測試數據；

S2、提取類文本格式測試數據，并轉換成XML格式測試數據；

S3、將轉換后的XML格式測試數據進行多地址存儲。

作為本發明的進一步改進，所述步驟S2中的XML格式測試數據包括測試得到類文本格式測試數據中的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。

作為本發明的進一步改進，所述步驟S2具體為：

S21、提取類文本格式測試數據中的文檔信息；

S22、提取類文本格式測試數據中的LOT信息，并嵌套在文檔信息節點下；

S23、提取類文本格式測試數據中的WAFER信息，并嵌套在LOT信息節點下；

S24、提取類文本格式測試數據中的SITE信息，并嵌套在WAFER信息節點下；

S25、提取類文本格式測試數據中的測試數值，并嵌套在SITE信息節點下。

作為本發明的進一步改進，所述LOT信息包括批號信息，產品名信息，量測時間信息，廠名信息，規范文件信息，工藝名信息，設備名信息，操作人員信息；所述WAFER信息包括片數信息，點數信息，參數數目信息，開始時間信息，結束時間信息，測試時間信息，合格片信息，失效項號信息；所述SITE信息包括點號信息，點狀態，X坐標信息，Y坐標信息。

作為本發明的進一步改進，所述步驟S2還包括：

忽略類文本格式測試數據中的無關信息，所述無關信息包括存儲路徑、數據上下限。

作為本發明的進一步改進，所述步驟S3中存儲的XML格式測試數據包括用于備份的數據、用于系統內使用的數據和用于系統外使用的數據。

相應地，一種晶圓測試數據處理系統，所述系統包括：

測試模塊，用于對晶圓依次進行測試，獲取類文本格式測試數據；

轉換模塊，用于將提取類文本格式測試數據轉換成XML格式測試數據；

存儲模塊，用于將轉換后的XML格式測試數據進行多地址存儲。

作為本發明的進一步改進，所述轉換模塊中獲得的XML格式測試數據包括測試模塊中類文本測試數據的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。

作為本發明的進一步改進，所述轉換模塊中獲得的XML格式測試數據包括：

文檔信息；

嵌套在文檔信息節點下的LOT信息；

嵌套在LOT信息節點下的WAFER信息；

嵌套在WAFER信息節點下的SITE信息；

嵌套在SITE信息節點下的測試數值。

作為本發明的進一步改進，所述LOT信息包括批號信息，產品名信息，量測時間信息，廠名信息，規范文件信息，工藝名信息，設備名信息，操作人員信息；所述WAFER信息包括片數信息，點數信息，參數數目信息，開始時間信息，結束時間信息，測試時間信息，合格片信息，失效項號信息；所述SITE信息包括點號信息，點狀態，X坐標信息，Y坐標信息。