[發明專利]晶圓測試數據處理方法及其系統

在審

• 申請號: 201210433640.2
• 申請日: 2012-11-01
• 公開（公告）號: CN103793437A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 許文慧;連曉謙
• 申請（專利權）人: 無錫華潤上華科技有限公司
• 主分類號: G06F17/30
• 分類號: G06F17/30
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 常亮

1.一種晶圓測試數據處理方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

S1、機臺對晶圓依次進行測試，獲取類文本格式測試數據；

S2、提取類文本格式測試數據，并轉換成XML格式測試數據；

S3、將轉換后的XML格式測試數據進行多地址存儲。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟S2中的XML格式測試數據包括測試得到類文本格式測試數據中的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述步驟S2具體為：

S21、提取類文本格式測試數據中的文檔信息；

S22、提取類文本格式測試數據中的LOT信息，并嵌套在文檔信息節點下；

S23、提取類文本格式測試數據中的WAFER信息，并嵌套在LOT信息節點下；

S24、提取類文本格式測試數據中的SITE信息，并嵌套在WAFER信息節點下；

S25、提取類文本格式測試數據中的測試數值，并嵌套在SITE信息節點下。

4.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述LOT信息包括批號信息，產品名信息，量測時間信息，廠名信息，規范文件信息，工藝名信息，設備名信息，操作人員信息；所述WAFER信息包括片數信息，點數信息，參數數目信息，開始時間信息，結束時間信息，測試時間信息，合格片信息，失效項號信息；所述SITE信息包括點號信息，點狀態，X坐標信息，Y坐標信息。

5.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述步驟S2還包括：

忽略類文本格式測試數據中的無關信息，所述無關信息包括存儲路徑、數據上下限。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟S3中存儲的XML格式測試數據包括用于備份的數據、用于系統內使用的數據和用于系統外使用的數據。

7.一種如權利要求1所述的晶圓測試數據處理系統，其特征在于，所述系統包括：

測試模塊，用于對晶圓依次進行測試，獲取類文本格式測試數據；

轉換模塊，用于將提取類文本格式測試數據轉換成XML格式測試數據；

存儲模塊，用于將轉換后的XML格式測試數據進行多地址存儲。

8.根據權利要求7所述的系統，其特征在于，所述轉換模塊中獲得的XML格式測試數據包括測試模塊中類文本測試數據的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。

9.根據權利要求8所述的系統，其特征在于，所述轉換模塊中獲得的XML格式測試數據包括：

文檔信息；

嵌套在文檔信息節點下的LOT信息；

嵌套在LOT信息節點下的WAFER信息；

嵌套在WAFER信息節點下的SITE信息；

嵌套在SITE信息節點下的測試數值。

10.根據權利要求8所述的系統，其特征在于，所述LOT信息包括批號信息，產品名信息，量測時間信息，廠名信息，規范文件信息，工藝名信息，設備名信息，操作人員信息；所述WAFER信息包括片數信息，點數信息，參數數目信息，開始時間信息，結束時間信息，測試時間信息，合格片信息，失效項號信息；所述SITE信息包括點號信息，點狀態，X坐標信息，Y坐標信息。