[發(fā)明專利]一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210432138.X
• 申請(qǐng)日: 2012-11-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102951845A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-03-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李福春;蒲中軍;鄧飛;唐忠于;唐毅強(qiáng);向勇;黃毅;李正元;趙興華;黃立雄;李輝;錢華軍;張以洪;蒲琨;王勇;張永強(qiáng);謝秋乙;陽(yáng)利民;舒茜;王曉;黎岸;劉俊杰;廖志勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都工投電子科技有限公司
• 主分類號(hào): C03C15/00
• 分類號(hào): C03C15/00
• 代理公司: 成都蓉信三星專利事務(wù)所 51106
• 代理人: 楊春

1.一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，其特征在于：包括以下工序：

工序A：挑選出可以進(jìn)行單面蝕刻的液晶面板玻璃，可以單面蝕刻的條件為單面厚度＞0.1mm；

工序B：把通過(guò)工序A挑選出的液晶面板玻璃需要保留的一面進(jìn)行貼膜保護(hù)；

工序C：采用蝕刻裝置將通過(guò)工序B處理過(guò)的液晶面板玻璃進(jìn)行蝕刻；

工序D：對(duì)蝕刻后的液晶面板玻璃進(jìn)行脫膜處理；

工序E：將脫膜后的液晶面板玻璃清洗干凈。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，其特征在于：在工序B前對(duì)通過(guò)工序A挑選出的液晶面板玻璃需要保留的一面采用浸泡方式進(jìn)行清洗，清洗設(shè)備采用PVC自動(dòng)化清洗機(jī)，清洗液的主要成分為質(zhì)量濃度1%的KOH水溶液，清洗液的成分包括重量百分率為2%?~?5%的非離子型表面活性劑、重量百分率為5%?~?10%的KOH水溶液、重量百分率為1%?~?5%的葡萄糖酸鈉、重量百分率為1%?~?5%的四乙酸乙烯二胺、重量百分率為1%?~?5%的四鈉酸、重量百分率為70%?~?85%的水，清洗溫度：25℃，清洗時(shí)間：5分鐘。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，其特征在于：所述工序B是采用自動(dòng)貼膜機(jī)，把通過(guò)工序A挑選出的液晶面板玻璃的兩面分別貼上TFT保護(hù)膜和C/F保護(hù)膜，并在貼膜的過(guò)程中采用靜電防護(hù)措施，貼膜過(guò)程包括以下步驟：

1）C/F保護(hù)膜準(zhǔn)備：將卷成卷筒的C/F保護(hù)膜的開(kāi)放端由自動(dòng)貼膜機(jī)的滾軸和自動(dòng)貼膜機(jī)的工作平臺(tái)之間的間隙拉放到工作平臺(tái)的后方；

2）TFT保護(hù)膜準(zhǔn)備及產(chǎn)品投入：將TFT保護(hù)膜平鋪在自動(dòng)貼膜機(jī)的工作平臺(tái)上與C/F保護(hù)膜的位置對(duì)應(yīng)，將液晶面板玻璃的TFT基板面朝下放置在TFT保護(hù)膜上；

3）接產(chǎn)品：將液晶面板玻璃從自動(dòng)貼膜機(jī)的工作平臺(tái)和自動(dòng)貼膜機(jī)的滾軸之間的間隙通過(guò)，并在工作平臺(tái)的后方接住液晶面板玻璃；

4）一次裁切：在液晶面板玻璃完全通過(guò)自動(dòng)貼膜機(jī)的工作平臺(tái)和自動(dòng)貼膜機(jī)的滾軸之間的間隙后，裁斷C/F保護(hù)膜；

5）二次裁切：沿著液晶面板玻璃的邊沿裁切C/F保護(hù)膜或TFT保護(hù)膜，使其與液晶面板玻璃的尺寸一致；

6）貼膜完成：去除液晶面板玻璃需要蝕刻的一面上的保護(hù)膜，留下液晶面板玻璃和需要保留的一面上的保護(hù)膜。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，其特征在于：所述靜電防護(hù)措施選擇采用離子風(fēng)機(jī)對(duì)貼膜過(guò)程中產(chǎn)品的靜電進(jìn)行靜電中和，并且選擇采用防靜電膜降低貼膜過(guò)程的靜電產(chǎn)生量，其中采用防靜電膜的方式包括以下步驟：

在B工序的步驟1）C/F保護(hù)膜準(zhǔn)備中增加靜電膜的準(zhǔn)備：將靜電膜的一端由自動(dòng)貼膜機(jī)的滾軸和自動(dòng)貼膜機(jī)的工作平臺(tái)之間的間隙拉放到工作平臺(tái)的后方，使貼膜后靜電膜位于C/F保護(hù)膜的上方；

在B工序的步驟6）貼膜完成中增加靜電膜的去除。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，其特征在于：所述工序C的蝕刻方式為頂部噴灑式，蝕刻時(shí)液晶面板玻璃采用專用PVC工裝裝載，蝕刻液為HF混酸，溫度為25±2℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，其特征在于：所述工序D的脫膜處理過(guò)程包括：采用堿液加熱浸泡方式對(duì)蝕刻后的液晶面板玻璃進(jìn)行化學(xué)脫膜，然后通過(guò)人工將堿液軟化的保護(hù)膜進(jìn)行手動(dòng)脫膜，所述化學(xué)脫膜的設(shè)備為PVC自動(dòng)化清洗機(jī)，所述堿液主要成分為由NaOH和DI水配置而成的質(zhì)量濃度15%的NaOH溶液，化學(xué)脫膜的溫度為50℃，時(shí)間為20分鐘；所述手動(dòng)脫膜在防靜電手動(dòng)脫模臺(tái)上進(jìn)行。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，其特征在于：所述工序E采用的清洗設(shè)備為流水清洗線，具體清洗流程為：

1）投入：將液晶面板玻璃投入流水清洗線內(nèi)；

2）堿液清洗：堿液的主要成分為濃度1%的NaOH，清洗溫度為40℃；

3）DI水清洗；

4）風(fēng)切：利用風(fēng)刀裝置，采用壓縮高壓氣體，將液晶面板玻璃表面水分吹干，風(fēng)刀壓力為0.4~0.5mpa；

5）打包。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，其特征在于：在工序E后通過(guò)觸點(diǎn)式厚度測(cè)量機(jī)對(duì)液晶玻璃面板進(jìn)行厚度檢查，并對(duì)液晶玻璃面板進(jìn)行外觀檢查，將液晶玻璃面板分為良品、可修復(fù)產(chǎn)品。