[發明專利]探針臺、有機薄膜器件的制備與測試集成系統及其方法

有效

• 申請號: 201210431757.7
• 申請日: 2012-11-01
• 公開（公告）號: CN103792443A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 江潮;尹虹;李德興;張一偉
• 申請（專利權）人: 國家納米科學中心
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;H01L51/00
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283
• 代理人: 桑傳標;施娥娟

技術領域

本發明屬于納米器件和/或有機薄膜器件的制備和測試領域，具體地，涉及一種用于有機薄膜器件測試的探針臺裝置以及用于有機薄膜器件的一體制備與測試的有機薄膜器件的制備與測試集成系統及其方法。

背景技術

在器件性能表征和基礎研究方面，探針臺是比較成熟的常規測量設備，尤其是在光電測試領域，被廣泛應用于半導體材料和光電器件的電學性質測量和器件的可靠性表征。在有機薄膜器件結構中，為迅速便捷地表征器件結構性能也常常使用探針臺進行電學性能測量。根據對測量元器件環境要求的不同，一般分為常溫大氣環境下常規探針臺和高真空液氦制冷的高端低溫探針臺等多種。雖然有些型號的探針臺支持在真空或環境可控條件下更換樣品，然而由于高端探針臺及其連接裝置的尺寸和空間等原因，難以在有機薄膜器件制備裝置中集成，樣品性能測定依然在分立的探針臺的內置樣品臺中進行，與樣品制備的真空蒸鍍設備無法進行連接，目前國內外也未見商品化的可以實現原位或可控環境下與有機薄膜沉積和器件制備設備相連接的探針臺測量系統。

在申請人于2012年02月24日提交的申請號為201210046050.4，名稱為“用于柔性襯底上有機薄膜器件制備的集成裝置”的發明專利申請中，公開了一種用于柔性襯底上有機薄膜器件制備的集成裝置，該集成裝置內具有與外界相隔的全封閉環境，內部各腔室氣氛可調節并能夠在各腔室間進行樣品傳送，使得樣品的制備環境可控并實現隔水隔氧。然而，所制備或生成的對環境要求很高的有機薄膜器件樣品從有機薄膜器件制備裝置中取出并放置到探針臺中進行電學性質測試時，由于如上所述的沒有在有機薄膜器件制備裝置中集成的或與有機薄膜器件制備裝置密封相連的探針臺，因而樣品將難以避免地暴露于大氣環境中，進而影響測試結果。

發明內容

本發明的目的是提供一種探針臺、有機薄膜器件的制備與測試集成系統及其方法，可實現有機薄膜器件在生成和測試的全過程中均隔絕外界氣體。

為了實現上述目的，根據本發明的一個方面，提供了一種有機薄膜器件的制備和測試方法，該方法使有機薄膜器件制備裝置與探針臺密封連接并在二者之間形成對外密封的樣品傳遞通道，通過設置樣品傳遞裝置以將樣品經由所述樣品傳遞通道在所述有機薄膜器件制備裝置與所述探針臺之間進行傳送，使得有機薄膜器件的生成和測試均隔離外界氣體。

根據本發明的另一個方面，提供了一種探針臺，該探針臺包括內置的樣品臺、樣品傳遞機構和中空連接件，該中空連接件密封連接到所述探針臺的外周部上并徑向向外延伸，所述中空連接件具有與所述樣品臺連通且用作樣品傳遞通道的中空腔室，所述樣品傳遞機構用于將樣品經由所述樣品傳遞通道向內傳遞至所述樣品臺或者將樣品從該樣品臺經由所述樣品傳遞通道向外傳送。

根據本發明的還一個方面，提供了一種有機薄膜器件的制備與測試集成系統，該集成系統包括有機薄膜器件制備裝置和根據本發明上述的探針臺，所述探針臺與所述有機薄膜器件制備裝置之間通過所述中空連接件與外界隔離地密封連接。

通過上述技術方案，根據本發明的有機薄膜器件的制備和測試方法，有機薄膜器件樣品可在樣品傳遞機構的作用下全程均隔絕外界氣體地在有機薄膜器件制備裝置與探針臺的樣品臺之間進行傳送，可使得有機薄膜器件的生成和測試一體進行并隔絕外界環境影響，提高生成效果和測試準確度。

本發明的其他特征和優點將在隨后的具體實施方式部分予以詳細說明。

附圖說明

附圖是用來提供對本發明的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與下面的具體實施方式一起用于解釋本發明，但并不構成對本發明的限制。在附圖中：

圖1是根據本發明的具體實施方式的探針臺的結構示意圖；

圖2是圖1中的探針臺的局部半剖圖，圖中清楚顯示了探針臺的樣品臺，并且為清楚起見，省略了探針臺的其它部分連接部件；

圖3是根據本發明的具體實施方式的有機薄膜器件的制備與測試集成系統的結構簡圖。

附圖標記說明

100????探針臺????????????200??有機薄膜器件制備裝置

1??????樣品臺????????????2????樣品傳遞機構

3??????中空連接件????????4????閘板閥

5??????探針臂????????????31???第一中空連接件

32?????第二中空連接件????33???連接法蘭

具體實施方式