[發明專利]探針臺、有機薄膜器件的制備與測試集成系統及其方法

有效

• 申請號: 201210431757.7
• 申請日: 2012-11-01
• 公開（公告）號: CN103792443A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 江潮;尹虹;李德興;張一偉
• 申請（專利權）人: 國家納米科學中心
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;H01L51/00
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283
• 代理人: 桑傳標;施娥娟

1.有機薄膜器件的制備和測試方法，其特征在于，該方法使有機薄膜器件制備裝置（200）與探針臺（100）密封連接并在二者之間形成對外密封的樣品傳遞通道，通過設置樣品傳遞裝置（2）以將樣品經由所述樣品傳遞通道在所述有機薄膜器件制備裝置（200）與所述探針臺（100）之間進行傳送，使得有機薄膜器件的生成和測試均隔離外界氣體。

2.根據權利要求1所述的有機薄膜器件的制備和測試方法，其特征在于，該方法還包括在所述有機薄膜器件制備裝置（200）與探針臺（100）之間的所述樣品傳遞通道上設置閘板閥（4），其中，所述方法的操作步驟包括：

1）閉合所述閘板閥（4）以隔開所述有機薄膜器件制備裝置（200）與探針臺（100），在所述有機薄膜器件制備裝置（200）中生成有機薄膜器件樣品；

2）打開所述閘板閥（4），使所述有機薄膜器件制備裝置（200）和所述樣品臺（1）的氣氛保持一致，而后操縱所述樣品傳遞機構（2）以將所述樣品傳送至所述樣品臺（1）；

3）閉合所述閘板閥（4）并調節所述樣品臺（1）內的氣氛、溫度和真空度，在所述樣品臺（1）內進行樣品測試。

3.根據權利要求1或2所述的有機薄膜器件的制備和測試方法，其特征在于，所述有機薄膜器件制備裝置（200）與所述探針臺（100）之間通過圓筒狀的中空連接件（3）連接，該中空連接件（3）具有中空腔室以用作樣品傳遞通道。

4.探針臺，該探針臺（100）包括內置的樣品臺（1），其特征在于，該探針臺（100）還包括樣品傳遞機構（2）和中空連接件（3），該中空連接件（3）密封連接到所述探針臺（100）的外周部上并徑向向外延伸，所述中空連接件（3）具有與所述樣品臺（1）連通且用作樣品傳遞通道的中空腔室，所述樣品傳遞機構（2）用于將樣品經由所述樣品傳遞通道向內傳遞至所述樣品臺（1）或者將樣品從該樣品臺（1）經由所述樣品傳遞通道向外傳送。

5.根據權利要求4所述的探針臺，其特征在于，所述樣品傳遞機構（2）包括磁力傳輸桿和安裝在該磁力傳輸桿一端的撥叉，所述磁力傳輸桿和所述中空連接件（3）分別位于所述探針臺（100）的徑向的兩側，所述磁力傳輸桿設置成使得所述撥叉能夠隨該磁力傳輸桿的移動而穿過所述樣品室（1）和所述中空連接件（3）的中空腔室。

6.根據權利要求4所述的探針臺，其特征在于，該探針臺（100）還包括連接到所述樣品臺（1）的真空泵抽系統、液體制冷劑加注裝置和/或惰性氣體加注裝置。

7.根據權利要求4-6中任意一項所述的探針臺，其特征在于，所述探針臺還包括閘板閥（4），該閘板閥（4）連接到所述中空連接件（3）上以用于開啟或封閉所述中空連接件（3）的中空腔室。

8.有機薄膜器件的制備與測試集成系統，其特征在于，該集成系統包括有機薄膜器件制備裝置（200）和根據上述權利要求4-7中任意一項所述的探針臺（100），所述探針臺（100）與所述有機薄膜器件制備裝置（200）之間通過所述中空連接件（3）與外界隔離地密封連接。

9.根據權利要求8所述的有機薄膜器件的制備與測試集成系統，其特征在于，所述探針臺（100）還包括連接到所述中空連接件（3）上的閘板閥（4），所述中空連接件（3）包括與所述探針臺（100）密封連接的第一中空連接件（31）和與所述有機薄膜器件制備裝置（200）密封連接的第二中空連接件（32），所述第一中空連接件（31）和第二中空連接件（32）之間通過所述閘板閥（4）相連。

10.根據權利要求8所述的有機薄膜器件的制備與測試集成系統，其特征在于，所述第二中空連接件（32）一體地形成在所述有機薄膜器件制備裝置（200）上。