[發(fā)明專利]沉積裝置及用其制造有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210428488.9
• 申請(qǐng)日: 2012-10-31
• 公開（公告）號(hào): CN103255370A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李相雨
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/12
• 分類號(hào): C23C14/12;C23C14/54;H01L27/32
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11204
• 代理人: 余朦;劉錚

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明的實(shí)施方式涉及沉積裝置以及使用該沉積裝置制造有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）顯示器的方法。

背景技術(shù)

有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）顯示器包括空穴注入電極、電子注入電極以及形成于二者之間的有機(jī)發(fā)射層。當(dāng)從陽極注入的空穴和從陰極注入的電子在有機(jī)發(fā)射層中復(fù)合時(shí)，OLED顯示器發(fā)出光。OLED顯示裝置具有高品質(zhì)性能，諸如功耗低、亮度高、視角寬、響應(yīng)速度快等，這種OLED顯示裝置作為用于移動(dòng)電子裝置的下一代顯示裝置而備受矚目。

OLED顯示器包括有機(jī)發(fā)光顯示面板，該有機(jī)發(fā)光顯示面板包括其上形成有薄膜晶體管和有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）的顯示器襯底。有機(jī)發(fā)光二極管包括陽極、陰極以及有機(jī)發(fā)射層。從陽極和陰極分別注入空穴和電子以形成激子，并且激子躍遷至基態(tài)從而引起有機(jī)發(fā)光二極管發(fā)光。

在諸如OLED顯示器的平板顯示器中，用作電極的有機(jī)材料或金屬可利用真空沉積法沉積，真空沉積法用于在真空環(huán)境中使材料沉積并在平板上形成薄膜。真空沉積法將其上待形成有機(jī)薄膜的襯底放置在真空室內(nèi)，并利用沉積源單元使有機(jī)材料蒸發(fā)或純化以使有機(jī)材料沉積在襯底上。

在用于真空沉積法的有機(jī)薄膜沉積裝置中，形成于襯底上的有機(jī)薄膜的均勻性降低，從而在襯底上產(chǎn)生陰影，因而導(dǎo)致有機(jī)薄膜發(fā)光時(shí)像素的亮度均勻性降低。此外，在工序長時(shí)間進(jìn)行后，從沉積源噴射出的沉積材料沉積在或積聚在噴嘴的整個(gè)表面上，導(dǎo)致材料的噴射角度隨時(shí)間而減小而且實(shí)際沉積的量減少。在這種情況下，被沉積的薄膜的厚度降低，并且校正板的初始設(shè)計(jì)形式也會(huì)改變而破壞膜厚度的均勻性。

在背景技術(shù)部分公開的以上信息僅用于增強(qiáng)對(duì)所描述技術(shù)的背景的理解，因而可能包含這樣的信息，即，其不構(gòu)成對(duì)該國家相關(guān)領(lǐng)域技術(shù)人員來說已知的現(xiàn)有技術(shù)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的實(shí)施方式提供了一種沉積裝置和用于制造OLED顯示器的方法，該沉積裝置通過控制沉積角度來形成均勻的薄膜厚度。

本發(fā)明的實(shí)施方式提供了一種沉積裝置和用于制造OLED顯示器的方法，該沉積裝置通過控制可能隨工序時(shí)間增加而改變的沉積角度來形成均勻的薄膜。

本發(fā)明的示例性實(shí)施方式提供了一種沉積裝置，其包括：沉積源，用于排放待沉積在襯底上的沉積材料；角度控制部，至少部分處于所述沉積材料的排放路徑中，所述角度控制部用于控制所述沉積材料的排放角度；以及角度控制部驅(qū)動(dòng)器，與所述角度控制部聯(lián)接，所述角度控制部驅(qū)動(dòng)器用于使所述角度控制部在所述沉積材料的排放方向上移動(dòng)以控制所述排放角度。

沉積源可包括用于排放沉積材料的噴嘴，而且角度控制部可包括一對(duì)角度控制部，所述一對(duì)角度控制部中的每一個(gè)均位于所述沉積源的較長側(cè)上并且在所述沉積源的長度方向上延伸。

沉積裝置還可包括一對(duì)蓋板，所述一對(duì)蓋板中的每個(gè)位于所述一對(duì)角度控制部中的各角度控制部的一側(cè)上，而且所述一對(duì)蓋板可被配置為在與所述排放方向交叉的方向上移動(dòng)以控制所述一對(duì)蓋板之間的間隙。

蓋板的移動(dòng)可對(duì)應(yīng)于角度控制部的移動(dòng)。

所述一對(duì)蓋板可包括在所述沉積源的所述長度方向上彼此相鄰的至少兩對(duì)蓋板。

所述至少兩對(duì)蓋板中的每個(gè)蓋板可獨(dú)立地操作。

角度控制部驅(qū)動(dòng)器可包括滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)器、汽缸驅(qū)動(dòng)器或者線性移動(dòng)引導(dǎo)驅(qū)動(dòng)器。

沉積裝置還可包括控制器，該控制器用于控制角度控制部驅(qū)動(dòng)器根據(jù)工藝條件來移動(dòng)角度控制部。

本發(fā)明的另一實(shí)施方式提供了一種制造有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的方法，所述方法包括：將襯底面朝用于排放沉積材料的沉積源；以及通過在所述襯底上排放所述沉積材料而在所述襯底上形成薄膜，其中，在所述襯底上形成所述薄膜包括通過使角度控制部相對(duì)于所述沉積源移動(dòng)來控制所述沉積材料的排放角度，所述角度控制部部分處于所述沉積材料的所述排放路徑中。

移動(dòng)所述角度控制部可包括以與經(jīng)過的工序時(shí)間量對(duì)應(yīng)的速度使所述角度控制部朝向所述沉積源移動(dòng)。

沉積材料可包括用于形成有機(jī)發(fā)射層的有機(jī)材料，而且所述薄膜可包括所述有機(jī)發(fā)射層。

根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，可形成大致均勻的薄膜厚度。此外，可在沉積角度隨工序時(shí)間增加而改變時(shí)通過校正沉積角度來形成均勻的薄膜。

另外，均勻的有機(jī)薄膜可被沉積在像素上以增加各個(gè)像素的亮度均勻性。

附圖說明

圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的沉積裝置的立體圖；

圖2A至圖2C示出了根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施方式的沉積裝置的側(cè)視圖；