[發明專利]用于晶圓級感測元件的自我測試系統及其方法

有效

• 申請號: 201210428131.0
• 申請日: 2012-10-31
• 公開（公告）號: CN103792504B
• 公開（公告）日: 2017-11-10
• 發明（設計）人: 邱東梁;葉人榮
• 申請（專利權）人: 京元電子股份有限公司
• 主分類號: G01R35/00
• 分類號: G01R35/00;G01R31/26
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司11019
• 代理人: 壽寧

1.一種用于晶圓級感測元件的自我測試系統，其特征在于其包含:

晶圓級感測元件，包含固定單元及可動單元，其中該固定單元與該可動單元之間形成感應電容，并且該固定單元包含兩個固定臂，而該可動單元包含質量塊及移動臂，其中該移動臂設于該質量塊上，且該移動臂位于該兩個固定臂之間；及

測試模塊，用以電性連接該晶圓級感測元件，其中該測試模塊包含測試電路，用以量測該感應電容；

其中該晶圓級感測元件，用以接收由波形產生器所產生的輸入信號，使該感應電容產生電容值變化量，其中輸入信號包括調變信號和激勵信號，該可動單元接收調變信號，一個固定臂接收激勵信號，且另一個固定臂輸出由電容值變化量引起的感應信號，其中該調變信號與該激勵信號的頻率不同，而該測試電路根據該電容值變化量，輸出測試信號，并且其中當該晶圓級感測元件的可動單元接收調變信號后，該可動單元對應產生靜電力，使該感應電容產生電容值變化量；

其中該測試電路包含濾波器，用以除去寄生電容相關的感應信號。

2.根據權利要求1所述的用于晶圓級感測元件的自我測試系統，其特征在于該固定單元及該可動單元分別包含信號輸入端,且該固定單元還包含信號輸出端。

3.根據權利要求1所述的用于晶圓級感測元件的自我測試系統，其特征在于該測試電路包含轉阻放大器及混頻器。

4.根據權利要求1所述的用于晶圓級感測元件的自我測試系統，其特征在于該測試電路內建于探針卡或測試機的測試電路板。

5.一種用于晶圓級感測元件的自我測試方法，其中該晶圓級感測元件包含可動單元及固定單元，且該可動單元與該固定單元間形成感應電容，其特征在于該方法包含：

提供輸入信號至該晶圓級感測元件，其中輸入信號產生自波形產生器，其中該感測元件包含固定單元及可動單元，并且其中該固定單元與該可動單元之間形成感應電容，該固定單元包含兩個固定臂，而該可動單元包含質量塊及移動臂，其中該移動臂設于該質量塊上，且該移動臂位于該兩個固定臂之間；

根據該輸入信號產生該感應電容的電容值變化量，其中輸入信號包括調變信號和激勵信號，該可動單元接收調變信號，一個固定臂接收激勵信號，且另一個固定臂輸出由電容值變化量引起的感應信號，其中該調變信號與該激勵信號的頻率不同，且使用濾波器以除去寄生電容相關的感應信 號；

根據該電容值變化量，輸出測試信號，其中當該晶圓級感測元件的可動單元接收調變信號后，該可動單元對應產生靜電力，使該感應電容產生電容值變化量。

6.根據權利要求5所述的用于晶圓級感測元件的自我測試方法，其特征在于輸出該測試信號的步驟包含：

使用測試電路，檢測該感應電容的該電容值變化量，以判讀晶圓級感測元件是否良好完整。